薄膜プロセス技術とは?製品に新たな材料特性を解き放つ

薄膜堆積が基板に微細な層を追加し、高度な電子機器、太陽電池、保護コーティング、医療機器を可能にする方法を学びましょう。

プラスチックへの物理蒸着(Pvd)とは?耐久性、機能性に優れたコーティングでプラスチック部品をアップグレード

プラスチックへのPVDコーティングが、軽量でコスト効率の高い部品に、金属光沢、耐傷性、導電性をどのように付加するかを学びましょう。

温度によって硬度はどのように変化しますか?故障を防ぐための逆相関関係を理解する

温度が上昇すると硬度が低下する理由と、高温用途で強度を維持する材料の選び方を学びましょう。

ラボグロウンダイヤモンドの用途は何ですか?ジュエリーからハイテク用途まで

ジュエリーや、エレクトロニクス、航空宇宙、放射線検出などの先端技術におけるラボグロウンダイヤモンドの用途を探ります。

薄膜とは何か、その例は?技術的ブレークスルーのための微視的な層の活用

反射防止コーティングから集積回路、太陽電池に至るまで、薄膜の定義、種類、および実世界の応用例を発見してください。

Dlcコーティングの欠点とは?適用前に考慮すべき主な制限

DLCコーティングの欠点を探る:低い熱安定性、脆性、高コスト、そして基材への重大な依存性。

ジュエリーにおける物理蒸着(Pvd)とは?現代の着用に適した、耐久性のあるハイテク仕上げ

PVDコーティングが、真空中で原子レベルの結合プロセスを通じて、ジュエリーに傷がつきにくく、変色しない仕上げをどのように施すかをご覧ください。

ラボグロウンダイヤモンドは天然ダイヤモンドと同じくらい耐久性がありますか?はい、硬度と弾力性は同じです。

ラボグロウンダイヤモンドは天然ダイヤモンドと同じくらい耐久性があり、モース硬度スケールで10を記録します。化学的にも物理的にも同一です。

スパッタリングとイオンビーム成膜の違いは何ですか?薄膜における精度とスループット

スパッタリングとイオンビーム成膜を比較:優れた膜制御、純度、基板保護のためのプラズマ統合とビーム分離を理解する。

薄膜の厚さの効果とは?光学、電気、機械的特性をマスターする

薄膜の厚さが光学的色、電気抵抗、量子効果をどのように決定するかを学びましょう。精密コーティング設計のための必須ガイド。

薄膜に影響を与える要因は?優れた性能のための成膜制御

成膜法やパラメータから材料間の相互作用に至るまで、薄膜の品質に影響を与える主要な要因と、それらが性能に与える影響を探ります。

ナノテクノロジーにおける電気化学的堆積とは何ですか?ナノ構造を構築するための低コストな手法

電気化学的堆積が電流を用いてナノワイヤーや薄膜を成長させる方法、およびそれが費用対効果の高い多用途なナノファブリケーションソリューションであることを学びましょう。

ラボグロウンダイヤモンドは産業で使われていますか?精度と性能における比類なき選択

ラボグロウンダイヤモンドが産業用途で主要な選択肢となる理由、すなわち、優れた硬度、熱伝導性、コスト効率性についてご紹介します。

ラボグロウンダイヤモンドの鑑定方法は?正確な評価のためのステップバイステップガイド

GIA/IGIレポートの取得から、保険や転売のための独自の市場価値の理解まで、ラボグロウンダイヤモンドを鑑定するための主要なステップを学びましょう。

ラボグロウンダイヤモンドの欠点は何ですか?経済的および認識上の欠点を理解する

ラボグロウンダイヤモンドの主な欠点、つまり長期的な価値の欠如や天然ダイヤモンドと比較した希少性の認識について探ります。

物理気相成長(Pvd)の利点は何ですか?高純度で耐久性のある薄膜を実現

PVDコーティングの主な利点、すなわち比類のない純度、高密度、および要求の厳しい用途に対応する優れた耐久性をご覧ください。

ラボグロウンダイヤモンドの特徴とは?その本質、価値、倫理に関するガイド

ラボグロウンダイヤモンドは、採掘されたダイヤモンドと化学的に同一ですが、倫理的な調達、高い純度、手頃な価格といった独自の利点を提供します。その主要な特性を学びましょう。

ラボグロウンダイヤモンドの硬度はどれくらいですか?天然ダイヤモンドと同じ硬さです

ラボグロウンダイヤモンドはモース硬度スケールで10点満点を獲得し、天然ダイヤモンドと全く同じです。硬度が同じである理由を学びましょう。

電極アークの温度はどのくらいですか?6,000°Cから15,000°Cの極限の熱をマスターする

電極アークの温度(6,000~15,000°C)の背後にある科学、プラズマ、電流、ガスが熱にどのように影響するか、そして溶接や切断における実用的な応用について学びましょう。

物理蒸着(Pvd)の問題点とは何ですか?高コスト、低速、視線制限

高真空コスト、処理速度の遅さ、複雑な部品に対する視線制限など、PVDコーティングの主な課題を探ります。

ダイヤモンド半導体の利点は何ですか?極限の電力と温度性能を引き出す

極限環境下のエレクトロニクス向けに、ダイヤモンド半導体の優れた熱伝導性、超広帯域ギャップ、高絶縁破壊電界についてご紹介します。

グラフェンの最適な供給源は何ですか?用途に合った適切な炭素源を選択する

グラフェン製造における天然黒鉛とメタンガスの比較。複合材料、電子機器、コーティングなど、ニーズに最適な供給源を学びましょう。

ダイヤモンド中の微量元素の測定が非常に困難なのはなぜか?純度とマトリックスの課題を克服する

炭素マトリックスの干渉から汚染リスクに至るまで、ダイヤモンド中の微量元素測定における分析上の障害を発見し、最適な技術を学びましょう。

熱蒸着コーティングの厚さはどれくらいですか?研究室向けに精密な薄膜を実現

熱蒸着コーティングの厚さ(通常10nmから2µm)について学び、光学および電子機器における高純度で精密な用途での利用法を探ります。

成膜速度は何に依存するのか?薄膜プロセス制御の主要因

スパッタリングパワー、ターゲット材料、システムジオメトリ、プロセスガス圧が薄膜の成膜速度と品質にどのように影響するかを学びましょう。

アーク溶接におけるアークの熱の温度はどのくらいですか?完璧な溶接のための極度の熱をマスターする

アーク溶接の温度(10,000°Fから50,000°F)の背後にある科学を発見し、優れた溶接品質と溶け込みのために熱入力の制御方法を学びましょう。

ラボグロウンダイヤモンドの利点は何ですか?同一の品質、倫理的および費用対効果

ラボグロウンダイヤモンドの主な利点をご覧ください:採掘されたダイヤモンドと同一、倫理的に調達され、環境に優しく、20〜70%手頃な価格です。

ラボグロウンダイヤモンドの倫理的利点は何ですか?紛争フリーで持続可能な選択

ラボグロウンダイヤモンドの倫理的利点を発見してください:保証された紛争フリーの起源、完全な追跡可能性、そしてより小さな環境フットプリント。

真空蒸着技術とは?薄膜成膜とPvdのガイド

真空蒸着の仕組み、光学およびエレクトロニクス分野での主要な用途、そして高純度でコスト効率の高い薄膜成膜における利点について学びましょう。

成膜速度に影響を与える要因は?薄膜成長速度を左右する4つの主要なレバーをマスターする

パワー、ターゲット材料、ジオメトリ、ガス環境がスパッタリング成膜速度をどのように制御するかを学びます。速度または品質のためにプロセスを最適化しましょう。

成膜におけるスパッタリングプロセスとは?精密薄膜コーティングガイド

スパッタリング成膜の仕組みを学ぶ:半導体、光学、医療機器向けに均一な薄膜を作成するプラズマを利用したPVD法。

蒸着装置とは?ハイテク用途向け精密薄膜成膜

電子ビーム蒸着装置の仕組み、高純度や材料の多様性といった主な利点、そして半導体や光学コーティングへの応用について学びましょう。

スパッタリングは蒸着よりも純度が高いのか?高品質薄膜成膜ガイド

薄膜の純度、密度、密着性に関して、スパッタリングと蒸着を比較します。特定の用途に最適なPVD法を見つけましょう。

プラズマ支援物理気相成長法とは何ですか?高度なPa-Pvdでコーティング性能を向上させる

プラズマ支援PVD(PA-PVD)が、どのように電離した蒸気を使用して、より高密度で密着性の高い薄膜を生成し、優れたコーティング性能を実現するかをご覧ください。

Dlcコーティングの基材は何ですか?エンジニアリングされた炭素膜の力を解き放つ

DLCコーティングの基材を発見:硬度と潤滑性のためにsp³とsp²結合のユニークなハイブリッド構造を持つアモルファスカーボン。

スパッタリングと電子ビーム蒸着の違いは何ですか?適切なPvd法を選択してください

スパッタリングと電子ビーム蒸着を比較:堆積速度、膜密着性、段差被覆性、材料適合性をラボのニーズに合わせて検討します。

スパッタリング成膜の用途は何ですか?エレクトロニクス、光学、工具向けに優れた薄膜を実現

マイクロエレクトロニクスから耐久性コーティングまで、スパッタリング成膜の主要な用途を探ります。高純度で均一な薄膜がどのように生成されるかを学びましょう。

薄膜成膜におけるスパッタリング技術とは?材料の多様性で優れたコーティングを実現

スパッタリングPVD技術が、金属、合金、絶縁体から高密度で密着性の高い薄膜をどのように生成し、高性能なアプリケーションに利用されるかをご覧ください。

スパッタリングとプレーティングの違いは何ですか?用途に合ったPvd法を選択しましょう

スパッタリングとアークイオンプレーティングの主な違いを学びましょう。スパッタリングは熱に弱い材料に精密性を提供し、プレーティングは工具に高い耐久性をもたらします。

コーティング技術におけるスパッタリングと蒸着の違いは何ですか?あなたの研究室に最適な方法を選びましょう

スパッタリングと蒸着のコーティング方法の主な違いを、密着性、均一性、コスト、および研究室での理想的な用途を含めて学びましょう。

電着法の応用とは?表面保護からナノスケール製造まで

電着の応用を探る:腐食防止、装飾仕上げ、PCB製造、および先進材料のためのナノ構造製造。

電着に影響を与える要因は何ですか?優れたコーティングのための主要な変数

電流密度、電解液組成、温度、基板の状態が電着の品質、密着性、膜構造をどのように制御するかを学びましょう。

電着法の欠点とは?材料コーティングにおける主な制約

電着の主な欠点について掘り下げます。これには、基板の導電性要件、コーティングの均一性の問題、環境上の課題などが含まれます。

電気めっきの例は何ですか?金めっきからマイクロチップ製造まで

電気めっきの仕組み、エレクトロニクスや腐食防止における主要な用途、および産業利用における限界について学びましょう。

電気めっきの利点は何ですか?複雑な部品に精密コーティングを実現

費用対効果の高いスケーラビリティ、ナノスケール制御、複雑な形状への均一な被覆など、電気めっきの主な利点をご覧ください。

真空蒸着法とは?シンプルで費用対効果の高い薄膜コーティングのガイド

真空蒸着の仕組み、単純な形状に対する主な利点、およびプロジェクトで他のPVD法よりも真空蒸着を選択すべき場合について学びましょう。

熱蒸着の用途とは?エレクトロニクス、光学、装飾仕上げに不可欠

OLEDディスプレイや太陽電池から反射コーティング、装飾仕上げまで、熱蒸着の応用を探ります。その主要な用途と利点を学びましょう。

蒸着コーティングとは?高純度薄膜成膜のためのガイド

真空チャンバー内で蒸着コーティングがどのように機能し、光学用途や電子用途向けに超薄膜で高純度の膜を堆積させるかを学びましょう。

なぜ電解めっきが使われるのか?優れた表面特性を実現するために

電解めっきがいかに耐食性を提供し、美観を高め、性能を向上させ、部品を精度高く費用対効果よく修復するかを学びましょう。

真空蒸発が常圧蒸発よりも優れている主な利点は何ですか?低温・高純度プロセスの実現

真空蒸発がいかにして沸点を下げ、熱に弱い材料や高純度の薄膜のエネルギー効率が高く穏やかな処理を可能にするかを発見してください。

真空蒸着の欠点とは?薄膜堆積におけるトレードオフの理解

真空蒸着の主な限界(膜の均一性の低さ、合金の難しさ、材料利用率の低さなど)を探ります。この方法を選択すべき時を学びましょう。

スパッタリングは、段差被覆性において蒸着よりも優れていますか?はい、複雑な表面の優れた被覆のために。

スパッタリングは、その多方向成膜により、蒸着よりも優れた段差被覆性を提供し、トレンチやビア上に均一な膜を保証します。

カソードスパッタリングのプロセスとは?薄膜堆積のステップバイステップガイド

超薄型で均一なコーティングを作成するための5段階のカソードスパッタリングプロセスを学びましょう。プラズマ生成から原子堆積まで、PVD技術を習得します。

ダイヤモンド膜成膜パラメータの制御におけるK型熱電対の機能は何ですか?マスターサーマルコントロール

ダイヤモンド成膜における温度をK型熱電対がどのように調整し、高品位な膜のsp3結晶純度と均一な成長を確保するかを学びましょう。

マイクロ波表面波プラズマ化学気相成長(Mw-Swp Cvd)システムにおける導波路とスロットアンテナの主な機能は何ですか?

MW-SWP CVDシステムにおいて、導波管とスロットアンテナがどのように連携してエネルギー効率と均一なプラズマ分布を確保するかをご覧ください。

ダイヤモンドドリルビットには真空熱間プレスが推奨されるのはなぜですか?ツールの寿命と強度を最大限に高める

ダイヤモンドドリルビットに真空熱間プレスが不可欠である理由を発見してください。ダイヤモンドの劣化を防ぎ、ほぼゼロの気孔率密度を保証します。

スパッタリング法の用途は何ですか?高性能薄膜コーティングの実現

半導体、光学コーティングから耐久性のある保護層まで、スパッタリングの用途を探ります。この技術が現代のエレクトロニクスをどのように可能にしているかを学びましょう。

Hphtダイヤモンドは本物か偽物か?ラボグロウンダイヤモンドに関する真実を解き明かす

HPHTダイヤモンドは本物のダイヤモンドであり、採掘されたものと化学的に同一です。その生成方法、識別方法、天然ダイヤモンドとの価値を比較して学びましょう。

マイクロ波プラズマ源とは? 先端材料と製造のための重要なツール

マイクロ波プラズマ源がいかにして、CVDダイヤモンド成長や半導体エッチングなどの用途向けに高純度で反応性の高いプラズマを生成するかを学びましょう。

真空昇華法とは?高純度材料精製ガイド

真空昇華法が、真空下で固体を直接気体に変換することで材料を精製する方法を学びましょう。これは、デリケートな化合物や薄膜に最適です。

スプレー熱分解法とは?高精度薄膜・粉末合成ガイド

スプレー熱分解が液体前駆体から薄膜や粉末をどのように生成するかを学びましょう。太陽電池、センサー、先進材料におけるその応用を発見してください。

ダイヤモンドテスターは本当に機能するのか?その精度と限界についての真実を解き明かしましょう。

ダイヤモンドテスターの仕組み、信頼性、そしてモアッサナイトを検出するために高度なモデルが必要な理由を学びましょう。宝石識別のための必須ガイドです。

高出力パルススパッタリング(Hipims)における電圧パルスはどうあるべきか?優れた膜制御のためのHipimsの習得

高イオン化、高密度膜、および成膜速度と品質の精密制御のために、HiPIMSの電圧パルス(500~2000V)を最適化する方法を学びましょう。

真空蒸着法とは?薄膜成膜と精製ガイド

高純度薄膜コーティングと液体精製における真空蒸着の仕組みを学びましょう。その用途、利点、限界を発見してください。

熱蒸着薄膜成膜のプロセスとは?シンプルで費用対効果の高いPvdガイド

熱蒸着の仕組みを学びましょう:真空中で純粋な金属膜を成膜するための主要なPVD手法。OLED、太陽電池、電子機器に最適です。

スパッタリングとEビーム蒸着の違いは何ですか?適切な薄膜成膜方法の選択

薄膜成膜のためのスパッタリングとEビーム蒸着PVD方法の主な違い(密着性、純度、材料適合性など)を学びましょう。

エンドミルに最適な素材とは?用途に応じた硬度と靭性のガイド

HSS、コバルト、超硬エンドミルの選び方を学びましょう。お使いの機械と材料に合わせて、硬度、靭性、コストを比較します。

Dcスパッタリングの限界とは?材料の適合性とプロセス上の課題を理解する

DCスパッタリングの主な限界を探ります。これには、絶縁材料との非互換性、アーク放電の問題、および高度な代替技術と比較して低い成膜速度が含まれます。

ろう付けとろう溶接の違いとは?接合強度と応用の習得

最適な接合強度と応用の成功のために、ろう付け(毛細管現象)とろう溶接(表面堆積)の主な違いを学びましょう。

蒸着システムで膜厚はどのように制御されますか?蒸着速度、時間、および形状をマスターする

蒸着速度、時間、およびシステム形状を管理することで、蒸着システムにおける膜厚を正確に制御し、一貫した結果を得る方法を学びましょう。

ダイヤモンドテスターで何をテストできますか?本物のダイヤモンドと偽物を正確に識別する

ダイヤモンドテスターがどのようにして本物のダイヤモンドをキュービックジルコニアのような模造品と区別するのか、そしてなぜモアッサナイトやラボグロウンストーンを識別できないのかを学びましょう。

化学浴堆積法(Chemical Bath Deposition Method)の欠点は何ですか?低速、汚染、および低い膜品質

化学浴堆積法(CBD)の主な欠点、すなわち堆積速度の遅さ、溶液汚染のリスク、および限定的な膜密着性と密度について探ります。

スパッタリング収率を向上させるにはどうすればよいですか?堆積を最大化するために、イオンエネルギー、質量、角度を最適化します

イオンエネルギー、ガス質量、入射角を最適化することでスパッタリング収率を高め、効率的な薄膜堆積と高いレートを実現する方法を学びましょう。

Itoの成膜方法とは?適切な技術を選択するためのガイド

スパッタリング、CVD、ALDなどのITO成膜方法を比較します。アプリケーションにおける品質、コスト、スケーラビリティのトレードオフを理解しましょう。

Dlcの材料とは?調整可能なダイヤモンドライクカーボンコーティングのガイド

DLCコーティングを発見:ダイヤモンドとグラファイトの結合が混在するアモルファスカーボン膜。種類、特性、そして用途に合った適切な選択方法を学びましょう。

Rfスパッタリング法とは?絶縁材料向け薄膜成膜ガイド

RFスパッタリングがどのように機能し、絶縁材料から高品質な薄膜を成膜するのかを学びましょう。これはエレクトロニクスおよび光学製造における重要なプロセスです。

スパッタリングとその種類とは?薄膜成膜方法ガイド

薄膜成膜のためのPVD技術であるスパッタリングについて学びましょう。DC、RF、マグネトロン、反応性スパッタリングの種類とその応用を探ります。

スパッタリングレートとは?薄膜成膜を制御する鍵をマスターする

スパッタリングレートとは何か、その計算方法、および薄膜成膜プロセスを最適化するためにそれを制御する主要な要因について学びましょう。

スパッタリングは何の転送に基づいていますか?優れた薄膜成膜のための運動量転送

スパッタリングは運動量転送に基づいた物理蒸着プロセスであり、高い密着性の膜と複雑な材料の精密な化学量論を可能にします。

マグネトロンスパッタリング技術の原理とは何ですか?優れた薄膜堆積を実現する

先進的な製造および研究開発用途向けに、磁場を使用して高品質で均一な薄膜を作成するマグネトロンスパッタリングの方法を学びましょう。

吸着材に産業用破砕・篩過システムが不可欠な理由とは?ろ過効率を最大化する

産業用破砕・篩過が、農業廃棄物を高性能で均一な生物ろ過用吸着材に変える上でいかに重要であるかを学びましょう。

リサイクルグラファイトの改質に使用されるボールミルの精密な時間制御は、なぜ重要な機能なのでしょうか?

リサイクルグラファイトのボールミル加工において、精密な時間制御が容量回復と構造安定性のバランスを取るために不可欠である理由を学びましょう。

廃プラスチックのグラフェン変換における機械的破砕およびふるい分けシステムの役割は何ですか?前処理の最適化

機械的破砕およびふるい分けが表面積と反応性を最大化し、廃プラスチックを高品位グラフェンに変換する方法を学びましょう。

超微細三酸化タングステン粉末の調製における粉砕機の役割は何ですか?材料の均一性を確保する

粉砕が三酸化タングステンを超微細粉末(0.044 mm未満)にどのように変換し、表面積を最大化して炭化効率を向上させるかを以下で学びましょう。

ポリカプロラクトン(Pcl)圧縮成形におけるフォーム構造に、実験室用油圧プレスの圧力制御はどのように影響しますか?

実験室用油圧プレスにおける圧力制御が、PCL圧縮成形における膨張、金型適合性、およびフォームの完全性をどのように決定するかを学びましょう。

Amdビーズの調製において、破砕・篩過システムはどのような役割を果たしますか?優れた処理のための粒子径の最適化

破砕・篩過システムが、酸性鉱山排水処理の効果を高めるために表面積を最大化し、均一な粒子分布を確保する方法をご覧ください。

工業用破砕・篩過システムは、触媒粒子の実験的適合性をどのように確保しますか?

破砕・篩過システムが触媒粒子のサイズ(0.15~0.25 mm)を最適化し、拡散限界を排除して固有反応速度論を明らかにする方法をご覧ください。

電解セルの設計は、酸化金属ナノチューブの合成にどのように影響しますか?専門家によるセル最適化のヒント

電極間隔から熱安定性まで、電解セルの設計が酸化金属ナノチューブアレイの成長と精度をどのように制御するかを学びましょう。

水素拡散実験における金属粉末調製に産業用破砕・篩過システムを使用する理由は何ですか?

正確な破砕と篩過が表面積と粒子の一貫性をどのように向上させ、信頼性の高い水素拡散データと理論的検証を保証するかを学びましょう。

エポキシ樹脂と酸化剤に対するPtfe消耗品の保護的役割は何ですか?化学的純度と容易な離型を保証します

PTFE消耗品が、実験室環境において強力な酸化剤や粘着性のあるエポキシ樹脂に対してどのように二重機能バリアを提供するかを学びましょう。

フッ化物イオン電池の試験に定温オーブンを使用するのはなぜですか?EisおよびCvデータの精度を確保する

熱安定性がフッ化物イオン電池の研究に不可欠である理由を発見し、正確なイオン輸送と反応速度の測定を保証します。

マグネシウム回収における結晶化器の役割は何ですか?純粋な昇華と収率をマスターする

真空昇華回収におけるマグネシウム合金の相転移、純度、結晶密度を結晶化器がどのように制御するかを学びましょう。

植物由来の凝集剤原料を超微粉末にする必要があるのはなぜですか? 反応性と性能の向上

精密破砕が植物由来凝集剤を活性化し、表面積、溶解性、化学結合を最大化して水処理にどのように役立つかを学びましょう。

産業用破砕・篩分けシステムの主な機能は何ですか?成功のためのバイオマス前処理をマスターする

破砕・篩分けシステムが、粒子径の低減と結晶性の弱化によってバイオマスの難分解性を克服し、効率的な処理を実現する方法を学びましょう。

核融合材料において、高精度な粉砕・分級システムが不可欠な理由は何ですか?研究データの信頼性を確保する

精度粉砕・分級システムが核融合材料研究における分子レベルの均一性と一貫した照射データをどのように保証するかを学びましょう。

藻類バイオマスの機械的前処理における破砕および篩過システムの機能は何ですか?メタン収率の向上

破砕および篩過システムが細胞壁を破壊し、表面積を増やして加水分解を加速し、メタン収率を最大化する方法を学びましょう。

木材抽出において、破砕および篩過システムが必要なのはなぜですか? 精密なサイズ制御で効率を向上させる

破砕および篩過システムが、表面積を増やし均一性を確保することで、熱水抽出用の木材原料を最適化する方法を学びましょう。

活性炭系触媒に産業用破砕・篩過システムが必要なのはなぜですか?最高のパフォーマンスを引き出す

均一な表面積、熱伝達、触媒速度論を確保するために、活性炭触媒にとって破砕と篩過がなぜ重要なのかを学びましょう。

精密なローター先端速度制御はなぜ重要なのでしょうか?高性能バッテリー材料の乾式コーティング

精密なローター先端速度制御が、脆いホスト粒子を損傷することなく、均一なバッテリー乾式コーティングのための衝撃エネルギーのバランスをどのように取るかを学びましょう。

Rfスパッタリングの典型的な動作パラメータは何ですか?薄膜成膜性能を最適化する

RFスパッタリングの重要なパラメータを学びましょう:ピーク間電圧1000V、周波数13.56MHz、圧力0.5〜10mTorrで理想的な薄膜が得られます。