知識 スパッタリングとメッキの違いとは?(4つの主な違いを解説)
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 3 months ago

スパッタリングとメッキの違いとは?(4つの主な違いを解説)

スパッタリングとメッキは、どちらも薄膜の成膜に用いられる物理蒸着(PVD)技術である。

しかし、そのメカニズムや用途は異なる。

スパッタリングは、プラズマを使用してターゲット材料から原子を離し、基板上に堆積させる。

これに対し、イオンプレーティングは、熱蒸発とスパッタリングの側面を併せ持ち、高電流を使用して材料を蒸発させ、基板上に堆積させる。

スパッタリングとメッキの違いは?(4つの主な違い)

スパッタリングとメッキの違いとは?(4つの主な違いを解説)

1.メカニズム

スパッタリング: スパッタリングは、コーティング種(ターゲット)と基板との間にプラズマを発生させるプロセスである。

このプラズマは、ターゲット材料から原子を離脱させるために使用される。

その後、外れた原子が基板上に堆積し、薄膜が形成される。

イオンプレーティング: イオンプレーティングは、熱蒸発とスパッタリングを組み合わせたハイブリッド技術である。

高電流を使用して金属材料を蒸発させ、金属イオンを工具または基板上に導いてコーティングする。

2.応用例

スパッタリング: この技術は、半導体、CD、ディスクドライブ、光学デバイスの薄膜成膜に特に有効である。

スパッタ薄膜は、その優れた均一性、密度、純度、密着性で知られている。

また、反応性スパッタリングにより、正確な組成の合金や、酸化物や窒化物のような化合物を製造することもできる。

イオンプレーティング: イオンプレーティングは、優れた密着性と緻密な皮膜が要求される場合によく使用される。

3.利点

スパッタリング: スパッタリングの一種であるマグネトロンスパッタリングは、緻密な構造、広いスパッタエリア、密着性を高める高エネルギー原子、コンパクト性、ピンホールのなさなどの利点を備えている。

これらにより、多くのハイテク用途に好んで使用されている。

イオンプレーティング: この方法は、単純な熱蒸着と比較して、より優れた密着性と高密度のコーティングを可能にする。

4.比較

メカニズム: スパッタリングは、プラズマによって原子がターゲットから叩き落とされる物理的プロセスに依存するのに対し、イオンプレーティングは、電流を使用して材料を蒸発させ、析出させる。

用途: スパッタリングは、半導体デバイスの機能膜、情報表示デバイス、装飾用途に広く使用されている。

イオンプレーティングは、より緻密で密着性の高い皮膜を形成できるため、高い耐久性と性能が要求される用途に使用される。

利点 スパッタリングの一種であるマグネトロンスパッタリングは、緻密な構造、広いスパッタエリア、密着性を高める高エネルギー原子、コンパクト性、ピンホールのなさなどの利点を備えている。

これらにより、多くのハイテク用途に好んで使用されている。

まとめると、スパッタリングとイオンプレーティングはどちらも薄膜の成膜に使用されるPVD技術であるが、その基本的なメカニズムや特有の利点が異なる。

一般的に、スパッタリングは様々な材料を成膜する際の精度と汎用性で好まれ、イオンプレーティングは緻密で強固に密着するコーティングを提供する能力で評価されています。

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