スパッタリングと電子ビーム蒸着は、どちらも物理的気相成長法（PVD）で薄膜を作るために使われる方法である。
しかし、この2つの技法はプロセスも特徴も異なります。
考慮すべき5つのポイント
1.蒸着プロセス
スパッタリングでは、通電したプラズマ原子（通常はアルゴン）をマイナスに帯電したソース材料に当てる。
この通電された原子により、ソース材料から原子が分離して基板に付着し、薄膜が形成される。
スパッタリングは閉じた磁場の中で行われ、真空中で行われる。
一方、電子ビーム蒸発法は、電子ビームをソース材料に当て、非常に高い温度を発生させて材料を蒸発させる。
このプロセスも真空または蒸着室内で行われる。
2.温度
スパッタリングは、電子ビーム蒸着に比べて低温で行われる。
3.蒸着速度
電子ビーム蒸着は、一般的にスパッタリングよりも成膜速度が速く、特に誘電体に対する成膜速度が速い。
4.成膜範囲
スパッタリングは、複雑な基板に対してより良好なコーティングカバレッジを提供します。
5.用途
電子ビーム蒸着は、大量バッチ生産や薄膜光学コーティングによく使用される。
スパッタリングは、高度な自動化が必要な用途に使用される。
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