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真空蒸発がいかにして沸点を下げ、熱に弱い材料や高純度の薄膜のエネルギー効率が高く穏やかな処理を可能にするかを発見してください。
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熱蒸着の仕組み、電子デバイス用薄膜作製における主要な用途、および研究室に最適な方法の選び方について学びましょう。
熱蒸着と電子ビーム蒸着の主な違い(加熱方法、材料適合性、膜の純度、成膜速度)を学びましょう。
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マグネトロンスパッタリングが磁場を利用して電子を閉じ込め、高レートで均一な薄膜成膜のための高密度プラズマを生成する方法を学びましょう。
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熱蒸着の仕組み、OLEDや太陽電池における主要な用途、そしてこのシンプルで費用対効果の高い成膜方法を選択すべき時について学びましょう。
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