アルゴンがスパッタリングプロセスで広く使用されているのにはいくつかの理由がある。
アルゴンがスパッタリングプロセス用ガスとして好まれる4つの主な理由
1.高いスパッタリングレート
アルゴンは原子量の多い希ガスである。
そのため、ターゲット材料に照射するイオンの供給源として最適である。
プラスに帯電したアルゴンイオンは、マイナスに帯電したターゲットに高速で引き寄せられる。
その結果、スパッタリング速度が速くなり、成膜速度が速くなる。
2.不活性
アルゴンは化学的に不活性である。
つまり、ほとんどの材料と反応しない。
アルゴンの不活性性により、スパッタされた粒子が汚染されたり変化したりすることはありません。
これにより、薄膜の望ましい特性が維持されます。
3.低価格と入手性
アルゴンは、クリプトンやキセノンのような他の希ガスに比べて比較的安価である。
広く入手可能で、高純度で入手できる。
そのため、費用対効果が重要視される産業用途では実用的な選択肢となる。
4.その他の考慮点
スパッタリングにアルゴンを使用することで、さまざまな方向でプロセスを作動させることができる。
また、複雑な形状のコーティングも可能である。
ソース材料の溶融が不要なため、このプロセスはさまざまな構成に適合させることができる。
これは汎用性を高める。
さらに、アルゴンは、材料の散乱が少なく、より緻密な層を形成することができる。
これにより、蒸着膜の全体的な品質が向上します。
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