蒸発材料は、蒸発のプロセスを通じて表面に薄膜やコーティングを形成するために使用される物質である。これらの物質は、気化し始めるまで高温に加熱される。真空環境下において、気化した物質は直接、コーティングの対象となる物体（通常は基板）の表面に向かう。そこで気化した材料は凝縮を始め、基板上に薄い膜を形成する。
蒸着に使用される材料
蒸着に使われる材料は、純金属から、アンチモン化物、ヒ素化物、ホウ化物、炭化物、フッ化物、窒化物、酸化物、セレン化物、ケイ化物、硫化物、テルル化物などのさまざまな化合物まで多岐にわたる。たとえば、光学コーティングによく使われる金や、太陽電池やセンサーの製造に欠かせないさまざまな酸化物や窒化物などがある。純度レベル
蒸発材料の純度レベルは非常に重要であり、用途に応じて通常99.9%から99.99999%の範囲にある。特に光学部品や医療機器のような繊細な用途では、コーティングの完全性と性能を確保するために高純度が不可欠です。
蒸着材料の形状
- 蒸発材料には、チャンク、フォイル、ペレット、ワイヤー、ロッド、ショット、スラグなど様々な形状がある。形状の選択は、特定の蒸発技術や、蒸発プロセス中の取り扱いやすさ、加熱のしやすさによって決まる。熱蒸発技術：
- 熱蒸発には、以下のようないくつかの技法が用いられる：
- 抵抗加熱蒸発： 抵抗加熱るつぼの中で材料を加熱し、蒸気を基板上に凝縮させる。
- 電子ビーム蒸発： 電子ビームを材料に当て、急速に加熱して蒸発させる。
フラッシュ蒸発： 大電流パルスまたは高熱源を用いて、材料を蒸発温度まで急速に加熱する。
誘導加熱蒸発： 誘導加熱により原料に電流を誘導し、加熱・蒸発させる。
蒸発源：
