熱蒸発において、気相材料とは、高真空チャンバー内で沸騰蒸発するまで加熱された材料のことである。
この材料は蒸気雲を形成し、チャンバーを横切って基板上に薄膜として堆積する蒸気流を構成する。
5つのポイント
1.熱蒸発プロセス
このプロセスでは、固体材料が沸点に達し蒸発し始めるまで、高真空チャンバー内で加熱される。
蒸発により蒸気圧が発生し、真空チャンバーの低圧環境下でも蒸気雲を形成するのに十分な圧力となる。
2.蒸気圧とその意義
蒸気圧は、蒸発の速度と凝縮の速度が等しくなり、平衡状態になるポイントを決定するため、この文脈では非常に重要である。
材料の蒸気圧を理解することは、蒸発のための適切な条件を選択し、材料がプロセス中に正味の損失を経験しないことを保証するのに役立ちます。
3.材料の種類と蒸発
蒸発に使用される材料には、金属、セラミック、ポリマー、炭素系化合物など様々な種類があります。
これらの材料は通常、ワイヤー状、シート状、バルク状の固体である。加熱すると、沸騰または昇華して蒸気が発生し、それが基板上に凝縮して薄膜を形成する。
4.真空度と温度が蒸気圧に与える影響
真空度と温度は、材料の蒸気圧に大きく影響する。
例えば、クロムの蒸気圧は、真空度と温度の変化によって大きく変化するため、特定の材料の処理に困難をもたらす可能性がある。
5.用途と材料の選択
蒸発に使用する材料の選択は、薄膜の用途によって異なります。
用途が異なれば、導電性、光学特性、機械的強度など、求められる材料特性も異なります。
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