リークの気密率は、しばしばリーク率と呼ばれ、密閉されたシステムから単位時間当たりにどれだけの空気やガスが漏れるかを示す尺度です。真空炉の場合、リーク率は真空環境の完全性と効率を維持するために極めて重要です。超合金や反応性金属の処理などの重要な用途では、5ミクロン/時間未満のリーク率が要求されます。通常の真空用途では、リーク率は10～20ミクロン/時を超えてはならない。リーク率が高くなると圧力が著しく上昇し、真空ポンプを過負荷にし、炉内で行われるプロセスの品質に影響を及ぼす可能性があります。
リーク率は通常、特定の圧力（例えば1 x 10^-4 torr）まで排気した後、ポンプシステムを炉室から隔離してテストします。真空レベルは30分後と60分後に記録される。この時間の真空レベルの差から、1時間あたりのミクロン単位のリーク率が計算されます。この率を、準拠規格または炉メーカーが指定する合格基準と比較します。
微小なリークの位置を検出するには、ヘリウムリークディテクターや残留ガス分析などの特殊機器を使用する必要があります。リークを最小限に抑え、真空システムの気密性を維持するためには、一時的なシールコンパウンドの交換やシール面の平坦性の確保など、定期的なメンテナンスと予防措置が不可欠である。
適切なリーク率を維持できないと、予定外のダウンタイム、修理費用の増加、製品品質の低下につながる可能性があります。従って、真空炉の性能と寿命を最適化し、全体的な運転コストを削減するためには、定期的なリーク率チェックと計画的なメンテナンスプログラムの遵守が不可欠です。
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