カーボンナノチューブ（CNT）を合成する主な方法には、レーザーアブレーション、アーク放電、化学気相成長（CVD）などがあり、商業用途ではCVDが最も普及している。CVD技術の中でも、プラズマエンハンスド化学気相成長法（PECVD）は、低温で高品質のCNTを合成できることから注目されており、さまざまな基板や電子デバイスとの統合に有利である。さらに、溶融塩中で電気分解して回収した二酸化炭素やメタンの熱分解など、グリーン原料や廃棄物原料を使用してCNTを製造することへの関心も高まっているが、製造される材料の品質に関する懸念は依然として残っている。
化学気相成長法（CVD）：
CVDは、その拡張性とナノチューブの特性を制御する能力から、CNTの合成に広く使われている技術である。このプロセスでは、基板を触媒でコーティングし、炭素含有ガスを反応室に導入する。ガスは触媒表面で分解し、炭素原子がナノチューブを形成する。温度、圧力、ガス流量などの成長条件を調整することで、CNTの品質や特性に影響を与えることができる。プラズマエンハンスト化学気相成長法（PECVD）：
PECVDはCVDの一種で、低温で化学反応を促進するためにプラズマを利用する。この技術は、従来のCVDに必要な高温ではダメージを受けるガラスなど、温度に敏感な基板にCNTを蒸着する場合に特に有効である。プラズマの使用により、400℃以下の温度で高品質のCNTを成膜できるため、低温処理が不可欠なナノエレクトロニクス分野での応用に適している。
グリーンおよび廃棄物原料：
