タングステン、モリブデン、タンタルは蒸発する金属で、融点が高く蒸気圧が低いため、熱蒸発プロセスで特に有用です。これらの特性は、蒸発源、特に薄膜蒸着が必要とされる真空環境での使用に理想的です。
タングステン:純金属の中で最も融点が高く（3422°C / 6192°F）、1650°C（3000°F）以上の蒸気圧が最も低いことで知られるタングステンは、蒸発プロセスで広く使用されています。その高い引張強さと低い熱膨張係数は、蒸発源としての適性を高めます。しかし、タングステンは蒸発中にアルミニウムや金のような材料と合金化する可能性があり、そのような場合にはアルミナでコーティングされたボートやバスケットのような代替材料を使用する必要があります。
モリブデンとタンタル:これらの金属も耐火性で融点が高く、蒸発プロセスに適している。タングステンが適切でない場合や、特定の合金特性が必要な場合によく使用されます。
合金と蒸着:合金の蒸発は、構成金属の蒸気圧が異なるため、困難な場合があります。合金の蒸発を効果的に管理するために、別々のるつぼでの同時溶解やスパッタリングなどの技術が採用されます。
薄膜蒸着への応用:これらの金属は、蒸着速度と膜特性の正確な制御が不可欠な電子ビーム蒸着のようなプロセスにおいて極めて重要です。制御された反射特性を持つ薄膜を蒸着する能力は、レーザー光学や建築用ガラスなどの用途で価値がある。
装置要件:蒸発源、特にボートを使用する蒸発源には、低電圧で大電流の高出力電源が必要である。マルチストランドタングステンフィラメントとワイヤーバスケットは、材料が昇華または溶融中にバスケットを濡らさないことを保証し、金属や他の材料を蒸発させるために一般的に使用されます。
要約すると、タングステン、モリブデン、タンタルのような金属は、特に薄膜堆積のための高温、真空ベースのプロセスで使用される場合、蒸発させることができます。タングステン、モリブデン、タンタルのような金属は蒸発が可能であり、特に高温、真空を利用した薄膜形成プロセスで使用されます。
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