タングステン、モリブデン、タンタルのような金属は、特に熱蒸発プロセスで蒸発することができる。
これらの金属は融点が高く、蒸気圧が低いため、特に有用です。
このため、蒸発源、特に薄膜蒸着が必要な真空環境での使用に最適です。
1.タングステン
タングステンは、3422℃(6192°F)という純金属の中で最も高い融点を持つことで知られている。
また、1650℃(3000°F)以上の蒸気圧が最も低い。
タングステンは、その高い引張強さと低熱膨張係数のため、蒸発プロセスで広く使用されています。
しかし、タングステンは蒸発中にアルミニウムや金のような材料と合金化する可能性があります。
これは、このような場合には、アルミナコーティングされたボートやバスケットなどの代替材料を使用する必要があります。
2.モリブデンとタンタル
モリブデンとタンタルも高融点の耐火性金属である。
これらは、特にタングステンが適切でない場合や、特定の合金特性が必要な場合の蒸発プロセスに適しています。
3.合金と蒸着
構成金属の蒸気圧が異なるため、合金の蒸発は困難な場合があります。
合金の蒸発を効果的に管理するために、別々のるつぼでの同時溶解やスパッタリングなどの技術が採用される。
4.薄膜蒸着への応用
これらの金属は、電子ビーム蒸着などのプロセスにおいて極めて重要である。
蒸着速度と膜特性の正確な制御が不可欠である。
制御された反射特性を持つ薄膜を蒸着する能力は、レーザー光学や建築用ガラスなどの用途で価値がある。
5.装置要件
蒸発源、特にボートを使用する蒸発源には、低電圧・大電流の高出力電源が必要である。
金属やその他の材料を蒸発させるには、マルチストランド・タングステンフィラメントとワイヤーバスケットが一般的に使用される。
これにより、材料が昇華したり、溶解中にバスケットを濡らしたりすることがない。
6.概要
タングステン、モリブデン、タンタルのような金属は蒸発が可能である。
これらの金属は、高温、真空ベースの薄膜蒸着プロセスで特に有用である。
そのユニークな特性により、様々な工業的・科学的用途に欠かせないものとなっています。
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