薄膜は、数ナノメートルから数マイクロメートルの厚さの材料の層である。薄膜における「薄い」という用語は相対的なものであり、文脈や考慮される特性によって異なる。一般的に、薄膜は、その厚さが、その薄膜の一部であるシステムの固有の長さスケールに匹敵するか、それ以下である場合に「薄い」とみなされる。これはナノメートルから数マイクロメートルまで様々で、典型的な薄膜は1ミクロンより薄いか、せいぜい数ミクロンである。
厚さの範囲と定義:
薄膜は厳密には特定の厚さによって定義されるのではなく、システムの一部である寸法と比較した相対的な薄さによって定義される。薄膜の厚さは、原子数個からマイクロメートルまでの範囲に及ぶ。例えば、原子蒸着では、薄膜の厚さは数原子層程度かもしれない。一方、保護や装飾のためのコーティングのような用途では、厚さは数マイクロメートルにも及ぶ。膜厚の重要性
薄膜の厚さは、電気的、光学的、機械的、熱的特性などの特性に大きく影響する。これらの特性は、ナノ材料、半導体製造、光学デバイスなど、さまざまな用途において極めて重要である。例えば、シャボン玉の色は薄膜の厚さに依存する干渉効果の結果である。
測定の課題
薄膜は厚みが小さいため、測定が難しい場合がある。従来の測定方法では適さない場合があり、特殊な技術が必要となる。厚さ測定は、工業用途で薄膜の特性を制御するために不可欠である。
用途とばらつき: