熱蒸着は熱蒸発とも呼ばれ、物理蒸着（PVD）で使用されるプロセスである。
高真空チャンバー内で固体材料を気化するまで加熱する。
その後、蒸気が基板上に凝縮して薄膜を形成する。
この方法は、特に融点が比較的低い金属を蒸着するのに適しており、その簡便さと効率の良さから人気があります。
4つの主要ステップの説明
1.真空チャンバーのセットアップ
プロセスは、ステンレス鋼製の真空チャンバー内で開始する。
このチャンバーには、タングステンやモリブデンなどの耐火性材料でできたるつぼまたはボートがある。
蒸着される材料（蒸発剤）は、このるつぼ内に置かれる。
2.材料の加熱
材料は抵抗熱源を使って加熱される。
これは、材料が蒸気圧に達するまで続けられる。
この時点で、真空環境内で蒸気雲を発生させるのに十分である。
3.蒸気の蒸着
蒸発した材料は、蒸気の流れとなってチャンバーを横切ります。
その後、基板上に堆積する。
基板は通常、チャンバーの上部に倒立状態で保持される。
基板の表面は、コーティングを受けるために、加熱されたソース材料に向かって下を向いている。
4.詳細説明
真空環境
高真空チャンバーの使用は極めて重要である。
これにより、蒸発材料と相互作用する可能性のある空気分子の存在を最小限に抑えることができる。
これにより、材料の特性が変化したり、蒸着プロセスが妨げられたりする可能性がある。
加熱メカニズム
加熱は通常、抵抗加熱によって行われる。
材料に直接接触したコイルまたはフィラメントに電流を流す。
この方法は、融点が比較的低い材料に有効である。
温度を正確に制御できるため、るつぼや材料自体に損傷を与えることなく材料を確実に気化させることができます。
蒸気圧
材料の蒸気圧は、蒸着プロセスにおける重要な要素です。
これは、材料が気化する速度と蒸気雲の均一性を決定します。
適切な蒸気圧を得ることは、基板上に均一で連続した膜を得るために不可欠です。
基板の位置決め
基板は、蒸気流にさらされる表面積が最大になるように配置される。
この位置決めは、蒸着膜の厚さと均一性を制御するのにも役立ちます。
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