化学気相成長法（CVD）の欠点には、操作上の制限、環境と安全への懸念、プロセスに関連する高コストなどがある。
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操作上の制限:CVDは通常、特殊な装置を必要とし、現場で実施することができないため、専用のコーティングセンターへの輸送が必要となる。また、このプロセスでは、すべての部品を個々の部品に分解する必要があるため、時間がかかり、物流的にも困難な場合がある。さらに、真空チャンバーの大きさによって、より大きな表面のコーティングが制限されるため、大規模な用途には適さない。
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コーティング範囲と温度の問題:CVDには被覆率の点で限界があり、完全に塗布されるか、まったく塗布されないかのどちらかであるため、複雑な表面では保護が不完全になる可能性がある。さらに、このプロセスは通常高温で行われるため、この条件下で劣化したり反ったりする可能性のある特定の素材にとっては問題となりうる。また、この高温要件は、熱膨張係数の異なるフィルム間の応力や故障につながる可能性もある。
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環境と安全への懸念:CVDの副生成物には、毒性、爆発性、腐食性など、有害なものが多い。これらの副産物は慎重な取り扱いと処分が必要で、複雑で高価なものとなる。これらの副産物に関連する環境への影響と安全リスクは、厳格な安全対策を必要とし、操業コストを増加させる可能性がある。
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高いコスト:CVDプロセスには激しい加熱と冷却のサイクルが含まれ、これが高コストの一因となっている。さらに、特にチップ製造に使用される前駆体ガスには多額の費用がかかる場合がある。これらのコストは、特殊な装置や訓練を受けた人材の必要性、環境コンプライアンスや安全対策に関連する潜在的なコストによってさらに複雑化する。
まとめると、CVDは高純度で高密度なコーティングといった利点がある一方、操作上の制約、環境への影響、安全リスク、高コストといった点では不利であるため、特に特定の用途や材料に即して慎重に検討する必要がある。
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