真空炉のリーク率は、用途と真空チャンバーの容積によって異なる。
一般的に、ほとんどの真空炉では10ミクロン/時のリーク率が許容範囲です。
しかし、超合金や反応性金属の処理など重要な用途では、5ミクロン/時未満のリーク率が必須です。
望ましい真空レベルを維持するためには、真空チャンバー、ドア、フィードスルー、貫通部の気密性が重要です。
真空炉のリーク率とは？考慮すべき4つのポイント
1.リーク率テスト
リーク率テストは真空システムの完全性を保証するために行われる。
このテストは通常、炉を大気に排出しないドライランサイクルの直後に行われます。
ポンプシステムを手動モードで始動し、炉内を1 x 10-4 torrまたはそれ以上まで排気します。
その後、ポンプシステムを炉室から隔離し、30分後と60分後の真空レベルを記録します。
リーク率は毎時ミクロン単位で計算され、仕様に規定された許容基準と比較されます。
2.許容リーク率
新型炉の場合、70ミクロン以下の圧力で1時間当たり10ミクロン以下のリーク率でなければなりません。
古い炉のリーク率は毎時20～25ミクロンで、それでも許容範囲と見なされます。
このようなリーク率では、炉内に漏出する不純物の量が十分に少なく、処理される材料に重大な悪影響を及ぼさないことが保証されます。
炉のリーク率がこの限界値を超える場合は、リークを修理するまでは生産に使用すべきではありません。
このような場合、リーク率を再試験する前にファーネスを窒素で充填し、全ての真空貫通部を締め付ける必要がある場合があります。
3.定期的なリーク率チェック
リークによる問題を未然に防ぐため、炉メーカーが規定するリーク率チェックを定期的に行うことが重要です。
リーク率が高くなると炉内の残留酸素濃度が高くなり、熱処理結果に悪影響を及ぼす可能性があります。
したがって、真空システム全体に適切な注意を払う必要があり、すべての接合部、溶接部、シール、バルブ、ポンプ、および容器自体のリーク検知が重要である。
4.適切な真空炉の選択
リーク率の低い高品質の真空炉をお探しですか？KINTEKをおいて他にありません！
当社の最新式真空炉は5ミクロン/時以下のリーク率を保証し、超合金や反応性金属を含む重要な用途に最適な性能を保証します。
定期的なリーク率チェックは不可欠であり、当社の炉は気密性を維持するよう設計されているため、熱処理プロセスへの悪影響を防止します。
当社の専門家にご相談ください。
信頼性が高く効率的な真空炉をお探しなら、KINTEKをお選びください。
今すぐお問い合わせください！
