真空炉のリーク率は、用途や真空チャンバーの容積によって異なります。一般的に、ほとんどの真空炉では10ミクロン/時間のリーク率が許容範囲です。しかし、超合金や反応性金属の処理などの重要な用途では、5ミクロン/時未満のリーク率が必須です。目的の真空レベルを維持するためには、真空チャンバー、ドア、フィードスルー、貫通部の気密性が重要です。
リーク率試験は真空システムの完全性を確認するために行われます。このテストは通常、炉を大気に排気することなく、ドライランサイクルの直後に行われます。ポンピングシステムを手動モードで始動し、炉内を1 x 10-4 torrまたはそれ以上まで排気します。その後、ポンプシステムを炉室から隔離し、30分後と60分後の真空レベルを記録します。リーク率は1時間当たりミクロン単位で計算され、仕様に規定された許容基準と比較されます。
新型炉の場合、70ミクロン以下の圧力で1時間当たり10ミクロン以下のリーク率であること。古い炉のリーク率は毎時20～25ミクロンで、これでも許容範囲と見なされます。このようなリーク率では、炉内に漏出する不純物の量が十分に少なく、処理される材料に重大な悪影響が及ばないことが保証されます。炉のリーク率がこの限界値を超える場合は、リークを修理するまで生産に使用すべきではありません。このような場合、リーク率を再試験する前に、炉を窒素で充填し、すべての真空フィードスルーを締める必要があります。
リークによる問題を未然に防ぐため、炉メーカーが規定するリーク率チェックを定期的に行うことが重要です。リーク率が高くなると炉内の残留酸素濃度が高くなり、熱処理結果に悪影響を及ぼす可能性がある。そのため、真空システム全体に適切な注意を払う必要があり、すべての接合部、溶接部、シール、バルブ、ポンプ、および容器自体のリーク検知が重要です。
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