電子ビーム蒸着は物理蒸着(PVD)技術である。集束した電子ビームを使用し、真空環境内で原料を加熱・蒸発させる。これにより、基板上に薄く高純度のコーティングを成膜することができます。
電子ビーム蒸着はどのように機能するのか?4つの簡単なステップ
1.電子ビームの発生
タングステンフィラメントに高電圧(5~10kV)の電流を流す。これによりフィラメントは高温に加熱され、電子が熱電子放出される。
2.ビーム集束とターゲット
放出された電子は、磁場を利用して統一ビームに集束される。その後、蒸発させる物質の入ったルツボに向けられる。
3.材料の蒸発
高エネルギー電子ビームは、そのエネルギーをるつぼ内の材料に伝えます。これにより、材料は蒸発または昇華する。
4.基板への蒸着
蒸発した材料は真空チャンバー内を移動します。蒸発した材料は、真空チャンバー内を移動し、ソース材料の上に配置された基板上に堆積し、薄い高純度コーティングを形成します。
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