ダイヤモンドライクカーボン(DLC)コーティングを施す場合、温度が重要な役割を果たします。
DLCコーティングは通常200℃以下の温度で塗布されます。
HEFの特殊な成膜技術では、約170℃でDLCコーティングを施すことができる。
DLC膜は、高周波プラズマ支援化学気相成長法(RF PECVD)を用いて成膜することができる。
この方法により、幅広い光学的・電気的特性を持つ炭素膜を成膜することができる。
この膜は多くの基板に対して良好な密着性を持ち、比較的低温で成膜できる。
しかし、多結晶ダイヤモンドとして知られる高含有sp3炭素膜は、通常、高温化学気相成長(CVD)プロセスによって製造される。
ダイヤモンドライクカーボン膜(DLC)は、適切なボンディング層を用いれば、300℃前後のさらに低い温度で、高い接着強度で成膜することができる。
プラズマエンハンスト化学気相成長法(PECVD)もDLCコーティングの製造に使用できる。
このコーティングは硬く、傷がつきにくく、バリア性に優れている。
PECVDには、低温、化学的安定性、有毒な副生成物の少なさ、短時間での処理、高い成膜速度といった利点がある。
全体的に、DLCコーティングは、特定の成膜方法と所望の特性に応じて、さまざまな温度で成膜することができます。
DLCの成膜温度は?知っておくべき5つのポイント
1.一般的な成膜温度
DLCコーティングは通常200℃以下で成膜されます。
2.HEF特有の成膜技術
HEFの技術は170℃前後でのDLCコーティングを可能にします。
3.RF PECVD法
高周波プラズマ支援化学気相成長法(RF PECVD法)を用いてDLC膜を成膜することができる。
4.低温蒸着
DLC膜は多くの基板に良好な密着性を持ち、比較的低温で成膜できる。
5.PECVDの利点
プラズマエンハンスト化学気相成長法(PECVD)には、低温、化学的安定性、有毒な副生成物の少なさ、短時間での処理、高い成膜速度などの利点があります。
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