薄膜はナノテクノロジーの要であり、その応用範囲はエレクトロニクス、エネルギー生産、バイオ医療機器に及ぶ。
エレクトロニクス集積回路チップとMEMS
薄膜は集積回路チップの製造に不可欠である。
導体、絶縁体、半導体の役割を果たす。
これらの薄膜は、化学蒸着やスパッタリングなどの方法で作られます。
厚さと均一性を精密に制御することは、電子デバイスの性能にとって極めて重要である。
機械素子、センサー、アクチュエーター、電子機器を統合したMEMSデバイスは、薄膜に大きく依存している。
エネルギー光学コーティングと太陽電池
光学コーティングでは、薄膜が反射率、透過率、吸収率などの光特性を向上させます。
これはレンズ、ミラー、太陽電池などの用途に不可欠です。
太陽電池は、テルル化カドミウムやセレン化銅インジウムガリウムのような材料の薄膜を使用します。
これらの薄膜は効率的に太陽光を電気に変換する。
従来の結晶シリコン・セルよりもコスト効率が高く、製造も容易である。
エネルギー貯蔵：薄膜電池
薄膜電池は高いエネルギー密度と柔軟性を提供します。
コンパクトでポータブルな電子機器に最適です。
これらの電池は、電極材料と固体電解質の薄い層を使用します。
フレキシブルなものを含む様々な基板上に成膜することができる。
バイオメディカルと防食用途
バイオメディカル分野では、薄膜はインプラントやデバイスに保護膜を提供します。
薄膜は生体適合性と耐腐食性を提供する。
また、感染症を予防するための抗菌コーティングにも薄膜が使用されています。
これらの薄膜は、薬剤を放出したり、組織の成長を促進したりするように設計することができる。
ナノコンポジット薄膜
ナノコンポジット薄膜は、"サイズ効果 "により機械的特性が向上します。
高い耐摩耗性、靭性、硬度を必要とする用途に有用である。
これらの薄膜の成膜は、マグネトロンスパッタリングで行われることが多い。
これにより、高純度と最小限の欠陥が保証されます。
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