真空炉は、放射によってエネルギーをワークロードに伝達する電動式発熱体を用いて材料を加熱する。真空炉における熱伝達の効率は温度に大きく依存し、ステファン・ボルツマンの法則により、温度が高いほどプロセスが促進される。不活性ガスを使用する対流加熱は、加熱プロセスを加速するために600℃以下の温度で採用されることが多い。ワークロードが加熱される速度は、熱処理される部品の色、表面仕上げ、形状などの要因にも影響される。
詳しい説明
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電気式発熱体：
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真空炉は主に電気エネルギーを使用してワークロードを加熱します。このエネルギーは通常、高温に耐えるグラファイトや金属のような材料から作られる発熱体を通して供給されます。エネルギー伝達は、エネルギーが電磁波として放出される直接的な熱伝達方法である放射によって行われます。放射熱伝達：
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真空環境では、熱を伝導または対流させる媒体（空気のような）が存在しないため、輻射が最も効果的な熱伝達モードとなる。ステファン・ボルツマンの法則によると、輻射による熱伝達率は絶対温度の4乗で増加する。つまり、炉内の温度が上昇すると、輻射による熱伝達率が大幅に増加するため、真空炉での高温プロセスが非常に効率的になります。
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温度依存性と不活性ガスの使用：
真空中では輻射は効果的に機能するが、その効率は温度に大きく依存する。低温（600℃以下）では、輻射による熱伝達は比較的遅い。このような温度での加熱プロセスを速めるため、炉内をアルゴンや窒素のような不活性ガスで満たすことがある。これによって僅かな圧力が導入され、対流加熱が可能になり、低温では輻射よりも急速な加熱が可能になる。
ワークロード特性の影響：
