真空炉の構造および運転には様々な材料が使用され、主に、加熱された材料を空気雰囲気の悪影響から保護するために真空環境を維持することに重点を置いています。真空炉で使用される主な部品と材料は以下の通り：
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発熱体:真空炉の機能に不可欠で、高温に耐え、真空中で完全性を維持できる材料から作られます。発熱体の一般的な材料には以下が含まれます：
- 金属合金:ステンレス鋼、ニッケルクロム、モリブデン、タングステン、タンタルなど。これらの金属は、融点が高く、酸化に強いことから選ばれる。
- 非金属材料:グラファイトや炭化ケイ素を含む。これらの材料は熱伝導性に優れ、分解することなく高温に耐えることができる。
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密閉炉殻:真空炉のシェルは一般的に炭素鋼やステンレス鋼で作られており、強度が高く、真空を維持するために効果的に密閉することができます。取り外し可能な部品の接合面は真空シール材でシールされ、漏れがないようにします。
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冷却システム:高温下での炉殻の変形やシール材の劣化を防ぐため、冷却システムが採用されます。冷却システムには水冷式と空冷式があり、炉の構造的完全性を維持します。
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真空システム:真空ポンプ、真空バルブ、その他炉内の真空維持に必要な部品が含まれます。真空システムは炉の運転に不可欠で、処理材料に影響を及ぼす汚染物質がない環境を維持します。
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電源および温度制御システム:このシステムは必要な電力を加熱エレメントに供給し、炉内の温度を制御します。通常、炉の運転条件に耐え、加熱プロセスを正確に制御できる材料で作られています。
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炉の内部:特定の用途に応じて、炉の内部には抵抗器、誘導コイル、電極、電子銃などの様々な部品が含まれます。これらは、溶融、焼結、硬化などの特定の方法で処理される材料と相互作用するように設計されています。
まとめると、真空炉は様々な産業および研究所のプロセスに適した真空環境を作り出し維持するために、様々な高性能材料を利用する複雑なシステムです。炉が効率的かつ効果的に作動し、ろう付け、焼結、焼きなまし、硬化などの用途で一貫した結果を提供できるようにするためには、材料の選択が極めて重要です。
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