真空炉内の圧力はプロセスの段階や操作の具体的な要求によって大きく変化します。
真空炉の圧力とは？5つの主要段階の説明
1.加熱段階
加熱段階では、粉末空気(PP)のようなプロセスでは、圧力は通常約500ミクロンに制御されます。
高真空プロセスでは、圧力は10^-4Torr以下に維持されます。
圧力は温度の上昇や汚染物質の揮発によって上昇するため、この制御は極めて重要です。
圧力が設定値から逸脱した場合、圧力が修正されるまで温度プログラムは一時停止されます。
2.冷却段階
冷却段階では、高温ソークの後、不活性ガス流量の増加と冷却水の循環により炉が冷却されます。
この冷却プロセスにより炉圧が低下します。
冷却中の圧力はプロセスタイプに応じて0.85バールから10バールの間で制御する必要があります。
冷却中の圧力制御は、処理される材料の完全性と品質を維持するために不可欠です。
3.減圧操作
真空炉は減圧下で作動します。
これは高速拡散ポンプとロータリーベーンポンプを含むポンプの組み合わせによって達成されます。
室温でのホットゾーンの基本圧力は1 x 10^-6 Torrと低くなります。
この低圧環境は、高品質の金属や合金の処理など、最小限の酸化や脱炭を必要とするプロセスにとって極めて重要である。
4.圧力制御
真空炉内の圧力は細心の注意を払って制御されます。
加熱段階では非常に低いレベルから、冷却段階ではわずかに高いレベルまで変化します。
この変化は、特定の材料やプロセスに最適な条件を確保するために調整されます。
5.高度な技術
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