熱蒸発システムは様々な産業で広く使用されていますが、大きな欠点があります。
熱蒸発システムの主な欠点に関する3つのポイント
1.高い不純物レベル
熱蒸発法は不純物レベルが高くなることが多い。
これは主に、真空チャンバー内で原料を高温に加熱するためである。
この加熱中、原料中の不純物や汚染物質も蒸発し、蒸着膜の一部となる可能性があります。
このため、膜の品質が悪くなることがあり、高純度が要求される用途では問題となる。
2.低密度フィルム
熱蒸着で作られる膜は密度が低いことが多い。
つまり、基材との密着性が低く、多孔質である可能性がある。
多孔質はフィルムの機械的・電気的特性に影響を与える可能性がある。
また、気孔が不純物を捕捉したり、フィルム中を移動させたりするため、密度が低いと不純物レベルが高くなります。
3.イオンアシストによる緩和
熱蒸発法では、本質的にこのような欠点を持つフィルムが製造されますが、イオンアシスト源を使用することで、状況を改善することができます。
イオンアシストは、蒸着膜にイオンを衝突させることで、膜の密度を高め、気孔率を低下させます。
このプロセスは不純物の除去や低減にも役立つため、フィルム全体の品質が向上する。
しかし、イオンアシストソースを追加すると、システムの複雑さとコストが増加するため、すべての用途で実現可能とは限りません。
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