電子ビーム蒸着装置は、フィラメント蒸着装置と比較して、特に薄く高密度のコーティングを成膜する際にいくつかの利点があります。
フィラメント蒸着機に対する電子ビーム蒸着機の利点とは?(5つの主な利点)
1.高い蒸着速度
電子ビーム蒸着は、0.1μm/minから100μm/minの蒸着速度を達成することができる。
これは、フィラメント蒸着よりもはるかに高速です。
この速い蒸着速度は、大規模生産や、特性を維持するために迅速な加工が必要な材料にとって非常に重要です。
2.優れた材料純度
電子ビームはソース材料のみに焦点を合わせます。
これにより、るつぼからの汚染リスクを最小限に抑えることができます。
その結果、不純物のない高品質のコーティングを必要とする用途に不可欠な、高い純度の膜が得られます。
3.材料の多様性
電子ビーム蒸着装置は、高融点を含む様々な材料に対応しています。
この汎用性は、蒸発に高温を必要とする材料に苦戦する可能性のあるフィラメントエバポレーターに比べ、大きな利点である。
4.多層蒸着
電子ビーム蒸着では、層間でシステムを排気する必要がなく、異なる材料を使用した多層蒸着が可能です。
この機能は、製造プロセスを合理化し、コーティングの機能性を向上させる。
5.高い材料利用効率
電子ビーム蒸着プロセスは、原料の利用効率が高い。
そのため、廃棄物が削減され、成膜プロセス全体のコストが削減されます。
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