技術チーム · Kintek Solution

真空炉における分圧とは、全体的な圧力が著しく低下したときに炉内の個々のガスが及ぼす圧力のことで、通常は大気圧よりもはるかに低いレベルまで低下します。真空炉では、酸素や水蒸気のような反応性ガスの分圧が最小になるような環境を作り出し、表面の酸化を防ぎ、処理される部品の既存の酸化物の分解を促進することが目的です。

回答の要約

真空炉における分圧とは、炉全体の圧力が著しく低下した際に、個々のガス、特に酸素や水蒸気が及ぼす圧力のことです。この減圧は表面酸化の防止に役立ち、処理される部品上の既存の酸化物の分解を促進します。

1. 詳しい説明残留空気の分圧の減少：

2. 中高真空領域で作動する真空炉では、酸素と水蒸気を含む残留空気の分圧が著しく低下します。この分圧低下は、表面酸化を最小限に抑え、あるいは全く発生させることなく部品を処理できる環境を作り出すため、極めて重要です。酸化は高温プロセスでは一般的な問題であり、真空条件によって酸素の存在を減少させることは、材料の完全性を維持するのに役立つ。

3. 既存の酸化物の分解

4. 分圧の低下は、新たな酸化物の形成を防ぐだけでなく、部品表面の既存の酸化物の分解を助ける。このプロセスは、温度と処理される材料の種類に大きく依存する。より高い温度と特定の材料特性は、真空条件下での酸化物分解の効果を高めることができる。真空レベルの制御と維持

真空炉は正確な圧力レベルを維持するよう設計されており、その範囲はプロセスによっては約500ミクロンから、高真空プロセスでは10-4 TORR以下にまで及びます。炉は高速拡散ポンプとロータリーベーン真空ポンプを組み合わせて、この低圧を達成・維持します。システムには真空計と制御機構が装備され、圧力が所望の範囲内に保たれるようになっています。圧力が設定値から逸脱した場合、圧力が修正されるまで温度プログラムは一時停止されます。