金属蒸着は薄膜蒸着に使われるプロセスである。
原料を高温に加熱する。
これにより材料は溶融し、蒸発または昇華して蒸気となる。
蒸気が凝縮し、真空チャンバー内の表面で固化する。
これにより、材料の薄い層が形成される。
このプロセスは通常、高真空環境で行われる。
これにより、ガスの衝突や不要な反応を最小限に抑えることができる。
これにより、クリーンで均一な蒸着が保証されます。
金属蒸着とは？5つのポイントを解説
1.加熱と蒸発
金属や合金を原料として、フィラメント蒸着や電子ビーム蒸着などの方法で加熱します。
フィラメント蒸発法では、フィラメントやコイルに電流を流して材料を加熱します。
より高度な方法である電子ビーム蒸発法は、集束した高エネルギー電子ビームを使用して材料を直接加熱する。
この方法では、高温の材料を蒸発させることができる。
より局所的な加熱が可能で、蒸着プロセスを制御するのに重要である。
2.真空中での蒸着
蒸着は真空チャンバー内で行われる。
これにより、気化した原子が気体分子と衝突するのを防ぐことができる。
このため、気化した原子が気体分子と衝突するのを防ぐことができ、気体分子の進路が変わり、蒸着プロセスの均一性が損なわれるのを防ぐことができる。
真空はまた、熱伝導の低減にも役立つ。
また、蒸着膜の品質を低下させる不要な化学反応も防ぐことができる。
3.薄膜の形成
気化した原子は真空中を移動し、チャンバー内の表面に堆積する。
通常、蒸発源よりも低温の基板が使用される。
この凝縮により、材料の薄く均一な膜が形成される。
膜の厚さと均一性は、蒸発速度とプロセスの継続時間を調整することで制御できる。
4.合金の課題
合金の蒸発には、構成材料の蒸気圧が異なるという課題がある。
これを克服するために、別々のるつぼでの同時溶解やフラッシュ蒸発などの方法が採用される。
フラッシュ蒸発では、高温の表面で少量の材料を急速に気化させる。
これにより、析出プロセスを通じて合金の組成が一定に保たれる。
5.用途
金属蒸着は様々な産業で広く使用されている。
微細加工のためのコンピューター産業や、フィルム包装の生産を含む。
特に、様々な基材上に薄く、耐久性があり、高品質の金属皮膜を形成する能力が高く評価されています。
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