蛍光X線分析（XRF）は、物質の元素組成を測定するために用いられる技術である。高エネルギーX線を試料に照射したときに試料から放出される蛍光X線を分析することにより、元素組成を測定します。この非破壊的な方法は、各元素の固有のスペクトルの特徴に基づいて、試料中に存在する元素を特定し、定量します。
5つのポイント
1.蛍光X線の原理
試料にX線を照射すると、X線のエネルギーによって試料中の原子の内部電子が励起されます。励起された電子が元のエネルギー準位に戻ると、試料に含まれる元素に特徴的な特定のエネルギーのX線を放出します。このX線の放出は蛍光X線として知られている。
2.検出と分析
放出された蛍光X線は、X線源と検出器から構成される蛍光X線分析装置によって検出されます。検出器は蛍光X線のエネルギーと強度を測定し、それを分析して試料の元素組成を決定します。検出器によって生成されたスペクトルは、試料に含まれる元素に対応するエネルギーのピークを示す。
3.試料の前処理
蛍光X線分析法は、大がかりな試料調製を必要としない、比較的簡便な分析法です。試料は固体、粉末、液体のいずれでも可能です。固体サンプルの場合、測定には平らできれいな表面が必要です。粉末試料は、通常、粉砕して均質化します。一方、液体試料は、分析中の試料の汚染や変質を防ぐために特別な取り扱いが必要になる場合があります。
4.アプリケーションと利点
XRFは、金属分析、品質管理、スクラップリサイクル、貴金属分析など、さまざまな分野で広く使用されています。最小限のサンプル前処理で迅速かつ正確な結果が得られ、非破壊であるため、分析後もサンプルはそのまま残ります。
5.元素の範囲
蛍光X線分析法は、ナトリウム（Na）からウラン（U）までの元素を分析でき、検出レベルは電子遷移に利用できる原子の特定の軌道によって異なります。
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