カーボンコーティングは、様々な目的で表面に硬いアモルファスカーボン膜を薄く塗布するプロセスです。一般的には、工業用工具を摩耗や腐食から保護するために使用される。電子顕微鏡では、カーボンコーティングは画像干渉を最小限に抑え、電気的特性を向上させるために不可欠である。走査型電子顕微鏡（SEM）や透過型電子顕微鏡（TEM）の用途に広く利用されている。
SEMにおけるカーボンコーティングの主な利点のひとつは、表面劣化の原因となる帯電メカニズムを防止できることである。これらのコーティングはアモルファスであり、試料の帯電を効果的に低減するため、生物学的材料の高効率イメージングにつながります。カーボンコーティングは、エネルギー分散型X線分光法（EDS）用の非導電性試料の作製に特に有効です。さらに、カーボンコーティングは、顕微鏡のビームダメージを軽減し、熱伝導を高め、二次電子放出を改善し、ビーム透過を減少させることでエッジ分解能を向上させることができます。
カーボン・コーティング・プロセスには、湿式化学法や乾燥コーティング法など、さまざまな手法がある。コーティング方法の選択は、コーティング層の微細構造やコーティングを介したリチウムイオンの拡散に影響を与える可能性がある。研究者たちは、より均一で薄いカーボン層を実現するために、異なるカソード材料構造に基づく様々なコーティング法を研究してきた。
電子顕微鏡では、炭素の熱蒸発が試料作製に広く使われている方法である。炭素源（通常、糸または棒）は、2つの大電流電気端子間の真空システムに取り付けられる。蒸発温度まで加熱されると、炭素源から炭素の細流が放出され、試料に蒸着される。この技法は、X線マイクロアナリシスやTEMグリッド上の試料支持膜として一般的に採用されている。
全体として、カーボンコーティングは、イメージングの質を向上させ、損傷を減らし、様々な分析技術の性能を高めることにより、電子顕微鏡において重要な役割を果たしています。
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