薄膜の光学特性は主に屈折率と消衰係数によって決定され、これらは材料の電気伝導度、構造欠陥、膜厚や粗さに影響される。薄膜はバルク材料とは異なる光学特性を示すため、光学コーティングのような透過率や反射率を変える様々な用途で重要な役割を果たします。
屈折率と消衰係数:
材料の屈折率は、ある媒質から別の媒質へ光を通過させる際に、光がどの程度曲げられるかを決定し、消衰係数は、光が材料内でどの程度吸収または散乱されるかに関係する。薄膜では、これらの光学係数は材料の電気伝導率に大きく影響され、さらにボイドや局所的欠陥、酸化物結合などの構造欠陥の有無にも影響される。これらの欠陥や特徴は、フィルム内の光の経路を変化させ、全体的な光学的挙動に影響を与えます。膜厚と粗さ:
薄膜の光学特性、特に透過率と反射率は、膜厚と表面粗さに大きく依存する。厚いフィルムや表面の凹凸が大きいフィルムは光をより散乱させ、フィルムの透過率や反射率を変化させます。マグネトロンスパッタリングや真空カーボンコーターのような技術は、これらのパラメータを制御するために使用され、所望の光学特性を維持するために重要な均一な厚さと最小限の粗さを保証します。
光学コーティングの用途
薄膜は、レンズやミラーのような基板の光学特性を変更するための光学コーティングに広く使用されています。例えば、反射防止コーティングは、薄膜を使用して表面の反射を抑え、光学部品を通して光の透過率を高めます。これらのコーティングはコスト効率が高く、基板の製造工程を大きく変えることがないため、さまざまな産業でよく使われている。
多層コーティングと特殊用途: