技術チーム · Kintek Solution

スパッタ蒸着は非常に効果的な技術であり、様々な産業で好まれる数々の利点があります。

知っておくべきスパッタ蒸着の5つの主な利点

1.材料蒸着における多様性

スパッタリングは、元素、合金、化合物を蒸着することができる。

この多様性は、スパッタリングターゲットが提供する安定した長寿命の気化源によるものです。

ターゲットはまた、線状、棒状、円筒状など、特定の形状に成形することもできる。

2.精密な制御と高品質の薄膜

スパッタリングのプロセスでは、成膜プロセスを精密に制御することができます。

この精密さにより、一貫性のある再現性の高い結果が得られます。

特にDCスパッタリングは、基板との密着性に優れた高品質な薄膜を生成することで知られています。

3.反応性蒸着

スパッタリングは反応性成膜を得意とする。

プラズマ中で反応性ガス種が活性化される。

この能力は、反応性ガスの膜への取り込みが必要な用途で特に有用である。4.エネルギー効率とプロセス制御スパッタリングでは放射熱はほとんど発生しない。