記事
研究室での使用に適した管状炉の選択
8 months ago温度、試料サイズ、温度ゾーン、機能、真空システムに基づく管状炉の選択ガイド。
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チューブラーPECVDが大型ウェハーに対応する方法
8 months ago大型シリコンウェーハを扱う際の管状PECVDの課題と解決策を探る。
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TiNおよびSi3N4析出用PECVDの詳細プロセスとパラメータ
8 months agoTiNとSi3N4のPECVDプロセスについて、装置のセットアップ、操作手順、主要なプロセスパラメータを含めて詳しく解説。
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チューブラーPECVDコーティングの一般的なリワークの原因と解決策
8 months agoこの記事では、結晶シリコン太陽電池のPECVDコーティングにおける一般的な手戻りの原因について説明し、品質向上とコスト削減のための実現可能な解決策を提示する。
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結晶シリコン太陽電池におけるPECVDコーティングの一般的な異常原因と解決策
8 months ago太陽電池におけるPECVDコーティングの一般的な問題を分析し、品質向上とコスト削減のためのソリューションを提供。
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バースト膜形成におけるアモルファスシリコンのPECVD成膜プロセスの紹介
8 months agoアモルファスシリコンのPECVD成膜におけるバースト膜形成のメカニズムと、それを防ぐための解決策を解説。
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PECVDナノコーティング技術の核となる障壁
8 months agoPECVDナノコーティング技術の開発と応用における主な障害を探る。
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MEMSデバイス用PECVDコーティングプロセスの最適化
8 months agoMEMSデバイスの高品質酸化シリコンおよび窒化シリコン膜のためのPECVDプロセスの構成と最適化の手引き。
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セルコーティング用PECVDにおけるグラファイトボート
8 months ago効率的なセルコーティングのためのPECVDにおけるグラファイトボートの使用を探る。
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PECVDプロセスにおけるグロー放電の理解
8 months ago成膜用PECVDにおけるグロー放電の概念、特性、効果について解説。
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PECVDプロセスの種類、装置構成、プロセス原理
8 months agoPECVDプロセス、装置構造、一般的な問題の概要について、様々なPECVDタイプとそのアプリケーションを中心に解説。
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電子デバイスにおけるPECVDナノコーティング技術の応用
8 months agoPECVDナノコーティング技術は、様々な電子デバイスの耐久性と信頼性を向上させます。
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PECVDナノコーティングの防水・防食以外の用途
8 months ago防水膜、防錆膜、抗菌膜、親水膜、耐摩耗膜など、多様なPECVDナノコーティングの応用例を紹介。
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リチウムイオン電池におけるシリコン系材料の表面改質のためのカーボンコーティング
8 months agoこの記事では、リチウムイオン電池のシリコン系負極材料の性能を向上させるためのカーボンコーティングの応用について論じる。
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CVD法によるシリコン-炭素負極材料の技術概要
8 months ago本稿では、CVD法で作製されたシリコン-炭素負極材料の主要な技術的側面について、その合成、性能向上、産業応用の可能性に焦点を当てて論じる。
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次世代電池用蒸着シリコンカーボン負極
8 months agoシリコン系負極の可能性について、蒸着技術と電池性能・コストへの影響を中心に解説。
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CVD化学気相成長薄膜輸送システムの紹介
8 months ago薄膜形成のためのCVDプロセス、コンポーネント、システムの概要。
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LPCVD、PECVD、ICPCVDプロセスの比較と応用分析
8 months agoLPCVD、PECVD、ICPCVD技術の原理、特徴、利点、欠点に焦点を当てた詳細な比較。
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真空コーティング技術：開発と応用
8 months ago真空コーティング技術の進化、方法、応用について、PVDと工業用工具や金型への影響を中心に解説。
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窒化ケイ素膜の作製プロセスが膜厚制御精度に与える影響
8 months ago半導体製造における膜厚制御精度に及ぼす窒化ケイ素膜の前処理工程の違いの影響を分析。
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化学気相成長法によるグラフェンの調製と転写技術
8 months ago本稿では、グラフェンの調製法について、CVD技術、その転写技術、将来の展望を中心に概説する。
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化学気相成長（CVD）プロセスと高純度PFAチューブ
8 months agoCVDプロセスの概要と、半導体製造における高純度PFAチューブの役割。
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高度な表面処理チタンCVDコーティング
8 months ago耐摩耗性、耐食性、熱安定性に焦点を当て、チタン合金へのCVDコーティングの利点と用途を探る。
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単結晶成長膜のコーティング法
8 months ago単結晶膜を成長させるためのCVD、PVD、エピタキシーなどの様々なコーティング法の概要。
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12種類の化学気相成長（CVD）技術の包括的な概要
8 months agoプラズマエンハンスドから超高真空まで、CVDの多様な方法と、半導体および材料科学におけるその応用を探る。
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化学気相成長（CVD）技術の利点、限界、プロセス制御
8 months ago表面コーティング用CVD技術の利点、制約、プロセス管理について解説。
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化学気相成長（CVD）コーティングの徹底検証
8 months agoCVD技術、その原理、特徴、分類、新しい進歩、様々な分野での応用を包括的に探求。
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化学気相成長(CVD)と電子特殊ガス
8 months agoCVD技術の概要と半導体製造における電子特殊ガスの役割。
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太陽電池パッシベーション層成膜プロセス
8 months agoPVDおよびCVD技術を含む、TOPConセルにおけるパッシベーション層薄膜堆積法の詳細分析。
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CVD無機薄膜堆積法の包括的概要
8 months agoこの記事では、無機薄膜成膜のための様々なCVDおよびPVD法について、そのプロセス、用途、比較を含めて詳述する。
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