真空管炉は、制御された真空環境での高温プロセス用に設計された特殊な加熱装置である。
一般的に石英またはアルミナ製の円形の加熱室から成り、密閉され、特定のガスで排気または充填することができます。
炉には真空ポンプとチャンバー内の雰囲気を維持するために必要な付属品が装備されています。
理解すべき5つのポイント
1.設計と構成
真空管炉には特定の用途要求に応じて、水平型、垂直型、マルチアングル型、ソリッド型、スプリット型、回転型など多様な設計があります。
また、シングル、デュアル、または複数の加熱ゾーンを持つ構成も可能で、チューブの異なるセクションにわたってより精密な温度制御が可能です。
2.用途
これらの炉は材料科学、冶金学、および電子機器製造において、化学分析、物理的分解、精製、焼結、昇華、脱ガス、焼き戻しなどのプロセスに広く使用されています。
特に結晶成長、熱処理、薄膜蒸着には、制御された環境で最高2000℃の温度を達成できることから有用です。
3.メンテナンス
真空管炉の最適な性能と長寿命には、定期的なメンテナンスが不可欠です。
メンテナンスを怠ると、温度の不正確さ、一貫性のない結果、潜在的な安全上の危険につながる可能性があります。
主なメンテナンス作業には、炉が所望の温度に到達できるようにすることと、真空シールの完全性を維持することが含まれます。
4.動作原理
真空管炉の作動原理は石英管またはコランダム管を密閉容器として使用することです。
真空管にはステンレス鋼のシールフランジが取り付けられ、密閉性を確保します。
運転中、実験材料は管内に置かれ、密閉された後、特定のガスで排気または充填される。
チューブは実験に必要な温度に加熱される。
炉管内の高純度を確保するため、炉管を事前に排気し、目的の雰囲気を複数回導入することが推奨される。
5.安全上の注意
真空管ファーネスを使用する際は、可燃性ガスや腐食性ガスのない環境で操作することが重要です。
液体や溶融金属の炉内への直接注入は避け、炉内を清潔に保つ必要があります。
さらに、炉のドアを開けると自動的に電源が切れるなどの安全機能を装備し、ユーザーの安全性を高める必要があります。
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