熱蒸発は物理蒸着（PVD）で使用されるプロセスで、高真空環境で固体材料を蒸発点まで加熱し、蒸気に変化させる。この蒸気が真空チャンバー内を移動して基板上で凝縮し、薄膜コーティングが形成されます。
理解すべき5つの主要ステップ
1.材料の加熱
ジュール熱（抵抗蒸発）または高エネルギー電子ビーム（電子ビーム蒸発）により、固体材料を高温に加熱する。この加熱により、材料は蒸発または昇華し、蒸気に変わる。
2.蒸気の輸送
気化した材料は、蒸気圧の影響を受けながら、高真空チャンバー内を移動する。真空環境は、蒸気の流れが他の原子と反応したり散乱したりしないようにし、その完全性を維持する。
3.基板への蒸着
蒸気は基板に到達し、接触すると凝縮して薄膜を形成する。この薄膜は、蒸発プロセスで使用される原料によって、さまざまな材料になる。
4.加熱メカニズム
抵抗蒸発では、材料を抵抗ボートに入れ、電流を流して加熱し、その電気抵抗によって発熱させる。電子ビーム蒸発法では、高エネルギーの電子ビームを材料に照射し、直接加熱して蒸発させる。
5.真空環境
高真空環境は、蒸気が空気分子と相互作用し、散乱や不要な化学反応を引き起こすのを防ぐため、非常に重要である。これにより、蒸気が一直線に移動し、基板上に均一に堆積します。
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