電子ビーム蒸着装置の電圧は通常3～40kVの範囲である。
一般的な動作電圧は、電子の運動エネルギーを熱エネルギーに効率よく変換するために、最大10kV、特に20～25kV程度です。
E-ビーム蒸発器の電圧とは？(4つのポイント）
1.電圧範囲と効率
電子ビーム蒸着装置の加速電圧は3～40kVの間で変化する。
電子の運動エネルギーの約85％が熱エネルギーに変換される最適な効率を得るには、通常20～25kVの電圧が使用される。
この高電圧は、電子を高い運動エネルギーまで加速するために必要である。
蒸発材料に衝突すると、運動エネルギーは主に熱エネルギーに変換され、材料を加熱して蒸発させる。
2.動作電圧の例
電圧は最大10kVまで可能で、これは多くの電子ビーム蒸着装置で一般的な動作電圧である。
この電圧は、真空環境で材料を効果的に加熱・蒸発させる電子ビームを生成するのに十分である。
3.電圧がプロセスに与える影響
電圧は電子ビームのエネルギーに直接影響する。
その結果、材料の蒸発速度と効率に影響する。
電圧が高いほど蒸着率が高くなり、特に融点の高い材料に有効です。
電子ビームによって生成される熱エネルギーは、材料を溶融または昇華させ、表面にコーティングするために使用できる蒸気を形成するために重要である。
4.技術開発
電子ビーム蒸発技術の開発には、ベントビーム電子蒸発器の使用などの改良が見られる。
この技術革新により、フィラメントが蒸気束にさらされるのを防ぐことができる。
これにより、特に高電圧において、より信頼性の高い効率的な運転が可能になりました。
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