真空炉の真空レベルは、様々な産業用途においてその性能を決定する重要なパラメータです。通常、真空炉は機械式ポンプ、拡散ポンプ、ルーツポンプなどのコンポーネントを含む真空システムの構成により、7×10-³ Paという低真空レベルを達成することができます。加熱前、炉は最適な状態を確保するため、6.67 Pa程度にプリポンプされることが多い。しかし、この真空レベルを達成・維持することは、ドアシールの損傷、炉のリーク、高温ゾーンの汚染など、一般的な排気不良の原因により困難な場合があります。
キーポイントの説明
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真空炉の標準的な真空レベル:
- 真空炉の最大真空レベルは 7×10-³ Pa これは高真空とみなされ、コンタミネーションや酸化を最小限に抑える必要があるプロセスに適している。
- 加熱の前に、炉はしばしばプレポンプで 6.67 Pa で空気と水分を除去し、ワークの安定した環境を確保します。
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真空システムの構成要素:
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真空炉の真空システム
真空炉
を含む：
- 機械式ポンプ:低真空レベルを達成するための初期の粗いポンピングに使用される。
- 拡散ポンプ:残留ガスを除去し、より高い真空度を得るために使用される。
- ルーツポンプ:他のポンプと組み合わせて使用されることが多く、ポンピング速度と効率を向上させる。
- 真空バルブ:ガスの流れを制御し、真空レベルを維持する。
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真空炉の真空システム
真空炉
を含む：
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真空度を左右する要因:
- ドアシールの損傷:ドアシールは最も重要な部品のひとつであり、避難トラブルの約80％を占めている。 避難問題の80％を占める .経年劣化は水漏れにつながります。
- 炉の漏れ:炉構造の小さな亀裂や隙間は真空レベルを損なう可能性があります。
- 高温ゾーンの汚染:残留物やゴミが加熱中にアウトガスになり、真空レベルが低下することがあります。
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真空レベル維持の重要性:
- ろう付け、焼結、熱処理など、酸化や汚染を最小限に抑えなければならないプロセスでは、安定した高真空レベルが不可欠です。
- 安定した性能を確保するには、シールのチェックや炉の清掃など、真空システムの定期的なメンテナンスが重要です。
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排気不良のトラブルシューティング:
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真空レベルが達成されない場合、一般的なトラブルシューティングの手順は以下の通りです：
- 破損したドアシールの点検と交換。
- 炉構造の漏れの点検。
- 高温ゾーンの清掃による汚染物質の除去
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真空レベルが達成されない場合、一般的なトラブルシューティングの手順は以下の通りです：
真空レベルを左右する要因を理解し、真空システムを適切に維持することで、オペレーターは真空炉の効率的で信頼性の高い運転を確保することができます。
まとめ表
| アスペクト | 詳細 |
|---|---|
| 標準真空レベル |
- 最大7×10-³Pa（高真空）
- プレポンプ6.67 Pa |
| 真空システムコンポーネント |
- 機械式ポンプ
- 拡散ポンプ - ルーツポンプ - バルブ |
| 真空に影響を与える要因 |
- ドアシールの損傷（問題の80）
- 炉の水漏れ - 汚染 |
| メンテナンスのヒント |
- シールの点検・交換
- 漏れの点検 - 高温ゾーンの清掃 |
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