真空炉は真空環境で作動する特殊な炉です。
真空炉は密閉されたチャンバーで構成され、ポンプシステムに接続されている。このシステムはチャンバー内の空気やガスを除去します。
炉室は目的の真空レベルを達成するため、漏れのないように設計されています。
真空炉の仕組み理解すべき5つのポイント
1.密閉チャンバーとポンプシステム
炉には密閉チャンバーがあり、ポンプシステムに接続されています。このシステムはチャンバー内の空気とガスを除去する役割を果たします。
2.ヒーターと温度制御
炉室内にはグラファイトまたはセラミック製のヒーターがあります。これらのヒーターは製品を加熱するための熱エネルギーを供給します。
ヒーターは温度制御システムによって制御されます。このシステムにより、加熱速度と保持時間が調整され、適切な熱処理が行われます。
3.送液パイプ
加熱エレメントに加えて、流体輸送パイプがあります。不活性ガスやワーク冷却液などを送ります。
これらのガスは、チャンバー内の雰囲気をコントロールし、製品の酸化を防ぐのに役立ちます。
4.真空環境の利点
チャンバー内に空気やその他のガスがないため、酸化や汚染を防ぐことができます。また対流による熱損失も減少します。
これにより、金属やセラミックなどの材料を高温に加熱することが可能になります。一部の真空炉では、厳選された材料で最高 3,000 °C (5,432 °F)に達するものもあります。
5.一般的な用途
真空炉は一般的に様々な用途に使用されます。これにはアニール、ろう付け、焼結、熱処理が含まれます。
これらのプロセスは、制御された真空環境により、高い一貫性と低コンタミネーションで実施することができます。
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