ロータリー真空ポンプの真空レベルは、特定のポンプモデルとその能力によって異なります。
一般的に、ロータリーベーンポンプはプレバキュームポンプとして一般的に使用され、大まかな真空レベルを達成することができます。
提供された文献によると、ロータリー真空ポンプの真空範囲は一般的に10-5 mbarまで達することができます。
これらのポンプは、要求の厳しい工業プロセス用に設計されており、堅牢なアプリケーションで最適な真空条件を提供するように設計されています。
アプリケーションによって必要な真空レベルが異なる場合があることに注意することが重要です。
例えば、容積5リットルまでの卓上ロータリーエバポレーターでは、排気速度約1～2 m3/hのケミストリー・ダイアフラムポンプが必要です。
容量が20リットルまでの大型ロータリーエバポレーターでは、約3～5 m3/hの排気速度のポンプが必要な場合があります。
真空ポンプを選択する際、主な検討事項のひとつは希望する真空レベルです。
真空ポンプの種類によって真空レベルは異なります。
例えば、ダイヤフラム真空ポンプは0.3 mbarまで、ロータリーベーン真空ポンプは2 x 10-3 mbarまで真空度を下げることができます。
産業用途では、真空ポンプは超高真空（UHV）タイプに分類されます。
UHVポンプは、約100ナノパスカル（10-7パスカル、10-9mbar、～10-9torr）より低い圧力を特徴とする。
これらのポンプは通常2段式ポンプで、ローターとベーンのセットが2組あることを意味する。
高真空ステージはプロセスガスを取り込み、ガスを大気圧まで圧縮する第二の低真空ステージに移送し、ポンプの真空性能を向上させます。
まとめると、ロータリー真空ポンプの真空レベルは10-5mbarに達することがあり、アプリケーションに必要な特定の真空レベルは、容積や希望するポンピング速度などの要因によって異なります。
超高真空用途では、2段真空ポンプが好まれることが多い。
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