真空ポンプの検査には、その適切な機能を保証し、漏れを検出し、その性能を検証するための体系的なアプローチが含まれます。このプロセスには、アプリケーションに適したポンプの選択、セットアップ時の密閉の確保、真空計による圧力の監視、リークを検出するための特定の技術の使用などが含まれます。さらに、特定の条件下で作動させてポンプの完全性をテストすることも重要です。以下では、真空ポンプの検査方法をポイントに分けて詳しく説明します。
ポイントを解説

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用途に適したポンプの選択
- ポンプを点検する前に、それが目的の用途に適していることを確認してください。真空ポンプは、特定の圧力範囲や用途(荒引き用ポンプ、高真空ポンプなど)に合わせて設計されています。
- ポンピング速度、最終真空レベル、システムとの互換性など、ポンプの仕様が要件を満たしていることを確認してください。
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ポンプのセットアップと密閉の確認
- ホースまたはチューブを使用してポンプをシステムに接続します。漏れを防ぐため、すべての接続が確実かつ気密であることを確認してください。
- Oリングやガスケットなど、適切な継手とシールを使用し、気密性を保つ。
- システム内の圧力を監視するために真空ゲージを設置する。これは運転中の異常を検出するために不可欠です。
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圧力のモニタリングとポンプの挙動の観察
- ポンプの電源を入れ、作動温度に到達させます。真空計を観察し、ポンプが望ましい圧力レベルに達していることを確認します。
- ポンプが適切に機能していれば、システム内の圧力は着実に下がるはずです。予想通りに圧力が下がらない場合は、漏れや故障の可能性があります。
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システム内の漏れを検出する
- ヘリウム質量分析計 ヘリウム質量分析計リークディテクター 正確なリーク検出のためにこの装置は、システム内に導入されたヘリウムガスを検知することにより、わずかな漏れも特定することができます。
- 一時的または緊急のリーク検出には 真空泥 を疑いのある場所に注入する。これにより、さらなる検査が行われる間、小さな漏れを一時的に塞ぐことができる。
- もうひとつの方法は 医療用針 リークが疑われる箇所にアセトンまたはエーテルを注入する。真空計を観察し、リークを示す圧力の急激な変化を確認する。
- 真空計には ブラインド・プレート 真空シリコンチューブ用の穴が開いており、システムの一部をふさぐことができる。これは、漏れの場所を分離して特定するのに役立つ。
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ラフィングポンプの完全性のテスト
- ラフィングバルブ ラフィングバルブ および フォアラインバルブ を使用して、粗引きポンプをシステムの他の部分から隔離します。
- ポンプを運転し、荒引きラインの圧力を下げる能力を観察します。適切に機能している粗引きポンプは、圧力が 150ミクロン以下 .
- ポンプがこのレベルに達しない場合、ポンプのシール、バルブ、または内部コンポーネントに問題があることを示している可能性があります。
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一般的な点検とメンテナンスのヒント
- シールの損傷、ベルトの摩耗、オイルの汚れなど、ポンプに摩耗の兆候がないか定期的に点検してください。
- 油密閉式ポンプでは、油量と油質を点検してください。オイルが汚れていたり不足していると、ポンプの 性能が損なわれる可能性があります。
- 運転中に、機械的な問題を示す可能性のあるガリガリ音やノッキング音などの異音がしないか耳を傾けてください。
- ポンプとその構成部品を定期的に清掃し、性能に影響する可能性のあるほこり、ごみ、汚染物質を取り除きます。
これらの手順に従うことで、真空ポンプを効果的に点検し、潜在的な問題を特定し、最適な性能を確保することができます。ポンプの寿命を延ばし、真空システムの効率を維持するためには、定期的な点検とメンテナンスが不可欠です。
総括表
ステップ | 主なアクション |
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1.適切なポンプの選択 | ポンプがアプリケーションの圧力範囲と要件に適合していることを確認します。 |
2.ポンプのセットアップ | 気密接続、適切なシールを使用し、監視用の真空ゲージを設置する。 |
3.圧力のモニタリング | バキュームゲージを観察し、安定した圧力低下を確認する。 |
4.リークの検出 | 正確なリーク検出には、ヘリウム質量分析計、真空マッド、またはアセトン注入を使用します。 |
5.荒引きポンプの完全性のテスト | ポンプを分離してテストし、150 ミクロン以下であることを確認する。 |
6.一般的なメンテナンス | 性能を維持するために、シール、オイルレベルを定期的に点検し、ポンプを清掃してください。 |
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