真空システムの漏れ検出は、システムの完全性とパフォーマンスを保証するための重要なプロセスです。漏れを特定して位置を特定するには、単純な観察から高度な計測まで、いくつかの方法が使用されます。これらの方法には、一時的な修理に真空泥を使用すること、ヘリウム質量分析計の漏れ検出器を使用すること、漏れが疑われる箇所にアセトンまたはエーテルを注入すること、断面試験にブラインドプレートを使用することなどが含まれます。さらに、ブロー法、吸引ノズル法、残留ガス分析などの手法を用いて、より正確な検出を行っています。真空または圧力の変化を監視し、水素検出器を使用し、予防保守を実行することも重要な実践です。
重要なポイントの説明:

-
応急修理用バキュームマッド:
- 真空泥は、緊急修理の迅速な解決策です。小規模な漏れを一時的に塞ぐことができ、恒久的な修正が適用されるまでシステムが動作し続けることができます。この方法は、システム障害を防ぐために即時の対応が必要な状況で特に役立ちます。
-
ヘリウム質量分析計リークディテクター:
- これは、漏れ検出に最も感度が高く、広く使用されている方法の 1 つです。ヘリウムがシステムに導入され、質量分析計が漏れから漏れたヘリウムを検出します。この方法は、複雑なシステムであっても、漏れの正確な位置を特定するのに非常に効果的です。
-
アセトンまたはエーテルの注入:
- 医療用針を使用して、漏れが疑われる箇所にアセトンまたはエーテルを注入できます。真空計の測定値の変化は、漏れの存在を示します。この方法は、特定の領域の漏れを特定するのに役立ちますが、使用される物質は可燃性であるため、慎重な取り扱いが必要です。
-
真空シリコンチューブ用穴付きブラインドプレート:
- 穴付きブラインドプレートを使用して真空管のセクションをブロックすることができ、セクションテストが可能になります。この方法は、漏れをシステムの特定のセクションに分離するのに役立ち、場所の特定と修理が容易になります。
-
ブロー法:
- 炉内を真空にし、外部にヘリウムガスを流す方法です。チャンバー内にヘリウムが存在する場合は、漏れがあることを示します。この方法は、真空炉などの大型システムの漏れを検出するのに効果的です。
-
吸引ノズル方式:
- 検査対象物を真空引きできない場合には、吸着ノズル方式が使用されます。検査対象物に漏れ検知ガスを封入し、外部からのガス漏れをセンサーでチェックします。この方法は、非真空システムに特に役立ちます。
-
真空または圧力の変化を監視:
- 真空または圧力の低下は、漏れを示していることがよくあります。チャンバーにガスを導入し、圧力計を観察すると、漏れの場所を特定することができます。この方法は簡単で、より高度な技術を採用する前の初期チェックとして使用できます。
-
残留ガス分析:
- この高度な方法には、真空システム内の残留ガスを分析して漏れを特定することが含まれます。ガスの組成に関する詳細な情報が得られるため、漏れの原因を正確に特定するのに役立ちます。
-
水素検知器:
- 水素レベルが 3% 以上であることを確認し、携帯型水素検出器を使用すると、漏れ部分の気密性を確認できます。この方法は、プロセスガスとして水素が使用されるシステムで特に役立ちます。
-
予防保守:
- 以前の漏れ箇所を追跡し、一時的なシール剤を交換することは、予防保守プログラムの重要な部分です。定期的な検査とメンテナンスは、重大な問題になる前に漏れを防ぐのに役立ちます。
これらの方法を採用することで、オペレータは真空システムの漏れを効果的に検出して修復でき、機器の最適なパフォーマンスと寿命を確保できます。
概要表:
方法 | 説明 |
---|---|
応急修理用バキュームマッド | 応急修理のための小さな漏れの一時的なシール。 |
ヘリウム質量分析計 | 漏れから漏れるヘリウムを検出し、正確な位置を特定します。 |
アセトンまたはエーテルの注入 | 注入後の真空計の変化を観察することで漏れを特定します。 |
穴付きブラインドプレート | 断面テストを使用して、特定のセクションの漏れを分離します。 |
ブロー法 | 外部からヘリウムガスを供給することで大規模システムの漏れを検出します。 |
吸引ノズル方式 | 非真空システムでガスが漏れていないかチェックします。 |
真空/圧力変化の監視 | 圧力変化を観察して漏れを特定します。 |
残留ガス分析 | 残留ガスを分析して漏れの原因を正確に特定します。 |
水素検知器 | 水素を使用するシステムの気密性を確保します。 |
予防保守 | 漏れを積極的に追跡して修復し、システム障害を防ぎます。 |
真空システムの完全性を確保します— 今すぐ専門家にお問い合わせください 高度な漏れ検出ソリューションを実現します。