真空システムのリークハンティングで使用される方法は、主にインジェクション法とサクションノズル法であり、不活性ガスのリークと一般的なメンテナンスのための追加技術もある。
インジェクション検出法：
この伝統的な方法では、炉内を排気して炉外にヘリウムガスを注入し、通常ヘリウム質量分析計に接続します。このシステムは、真空システムにヘリウムが侵入する可能性を監視し、リークを示します。ヘリウムは分子が小さく、わずかなリークでも容易に透過するため、この方法は効果的であり、真空システムのリークを検出するための信頼性の高いトレーサーガスとなります。ノズル検出法：
この方法は、熱交換器、水冷式フランジ、電気フィードスルーなど、排気できない対象物に適している。リークを示すガス（通常はヘリウム）を検出対象物に充填します。その後、センサーまたはヘリウム質量分析計を使用して、漏れを示すガスが外部から漏れていないかチェックする。この方法は、メイン真空チャンバーの一部ではないが、全体的な真空の完全性にとって重要なコンポーネントに特に有効です。
不活性ガスリーク検出：
不活性ガスを使用するシステムでは、ガス供給システムから真空炉へのリークをゼロにすることが重要です。不活性ガスのリークを検出するために一般的に使用される2つの方法は、フィルム（シャボン玉）法と真空リーク検出法です。フィルム法では、リークが疑われる部分に石鹸溶液を塗布して気泡の有無を観察し、真空法では真空計を使用してリークを示す圧力変化を監視します。メンテナンスと予防措置
定期的なメンテナンスと予防措置は、漏れを最小限に抑えるために不可欠である。これには、ヘリウムリークディテクターや残留ガス分析を使って微小なリーク箇所を特定すること、一時的なシーリングコンパウンドを交換すること、シール、バルブ、ポンプなどのコンポーネントを定期的に点検・交換することなどが含まれます。適切なメンテナンスは予期せぬ機器のダウンタイムを防ぐだけでなく、真空炉の性能と寿命を最適化し、長期的な運転総コストを削減します。
