真空システムのリーク・ハンティングは、これらのシステムの完全性と効率を維持するために極めて重要です。
リークを検出し、対処するために使用されるいくつかの方法があり、それぞれがシステムの特定のニーズとコンポーネントに合わせて調整されています。
真空システムにおけるリーク・ハンティングの6つの主要テクニック
1.注入検出法
この伝統的な方法では、炉を排気して炉外にヘリウムガスを注入し、通常はヘリウム質量分析計に接続します。
このシステムは、真空システムにヘリウムが侵入する可能性を監視し、リークを示します。
ヘリウムは分子が小さく、わずかなリークでも容易に透過するため、真空システムのリークを検出するトレーサーガスとして信頼性が高い。
2.ノズル検出法
この方法は、熱交換器、水冷フランジ、電気フィードスルーなど、排気できない対象物に適している。
リークを示すガス（通常はヘリウム）を検出対象物に充填します。
その後、センサーまたはヘリウム質量分析計を使用して、漏れを示すガスが外部から漏れていないかチェックする。
この方法は、メイン真空チャンバーの一部ではないが、全体的な真空の完全性にとって重要なコンポーネントに特に有効である。
3.不活性ガスのリーク検知
不活性ガスを使用するシステムでは、ガス供給システムから真空炉へのリークをゼロにすることが重要です。
不活性ガスのリークを検知する方法として、フィルム（シャボン玉）法と真空リーク検知が一般的に用いられています。
フィルム法では、リークが疑われる部分に石鹸溶液を塗布し、気泡の有無を観察します。
真空法は、真空計を使って圧力の変化を監視し、リークを示す。
4.メンテナンスと予防措置
定期的なメンテナンスと予防措置は、漏れを最小限に抑えるために不可欠である。
これには、微小な漏れを見つけるためのヘリウムリークディテクターや残留ガス分析の使用が含まれる。
一時的なシーリング材を交換し、シール、バルブ、ポンプなどの部品を定期的に点検・交換することも重要である。
適切なメンテナンスは予期せぬ機器のダウンタイムを防ぐだけでなく、真空炉の性能と寿命を最適化し、長期的な運転総コストを削減します。
5.モニタリングとテスト
真空システムの定期的なモニタリングは極めて重要です。
これには圧力上昇率の測定が含まれ、システムが閉じていて作動していないときの圧力上昇率を観察することで、リークの検出に役立ちます。
さらに、ヘリウム質量分析計リークディテクターを使用したり、リークが疑われる箇所にアセトンやエーテルを噴霧するなどの代替方法を使用することも、リークの特定に役立つ。
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