真空炉の発熱体は主に金属と非金属で構成されています。これらのエレメントは炉内の様々なプロセスに必要な高温を発生させ、制御するために極めて重要です。
金属発熱体：
真空炉の金属発熱体は通常、貴金属と一般金属の2つのグループに分類されます。貴金属にはモリブデン、プラチナ、タングステン、タンタルなどがあります。これらの材料は高い融点と耐酸化性で選ばれ、酸素のない真空環境では不可欠な特性です。ニッケル-クロム耐熱合金、鉄-クロムアルミニウム合金、モリブデン-タングステン合金などの一般金属もよく使われます。これらの材料はコストと性能のバランスが取れており、多くの産業用途に十分な耐熱性と耐久性を提供します。非金属発熱体：
非金属発熱体は、主に黒鉛と様々な化合物から構成されています。黒鉛は、機械加工性に優れ、高温に強く、熱衝撃に強いため、特に好まれています。また、放射面積が大きいため、加熱効率が高い。その他の化合物としては、炭化ケイ素やケイ化モリブデンなどが用いられる。しかし、これらの材料には、高温での結合や分解の問題（炭化ケイ素の場合）や、比較的低温での軟化（酸化モリブデンの場合）といった限界がある。
真空炉での機能
これらの発熱体は炉の設計に組み込まれており、通常、真空システムに接続された密閉チャンバーが含まれています。真空環境は酸化やその他の不要な化学反応を防止し、処理される材料の純度と完全性を保証するため極めて重要です。真空炉の種類に応じて、発熱体は抵抗加熱、誘導加熱、放射加熱などの方法で熱を発生させます。
真空炉の用途と種類
