石英管はかなりの圧力を保持することができます。表面品質の良い溶融石英の設計引張強度は4.8 x 10^7 Pa (7,000 psi)を超えます。つまり、石英管は4.8×10^7Paまたは7,000psiまでの圧力に耐えることができます。
前述のLPCVD炉システムの場合、使用圧力は310MPa（45,000psi）と規定されている。これは、このシステムで使用されている石英管が、45,000 psiまでの圧力に問題なく対応できるように設計されていることを示しています。
さらに、言及した蒸着システムの真空チャンバーは、短時間で最低圧力に達する能力を持っている。真空チャンバー内の圧力は、サンプルの被覆プロセスや蒸着された薄膜の品質に重要な役割を果たします。チャンバー内の圧力を正確にモニターするために、信頼性が高く正確な圧力計が使用されます。前述の蒸着装置で使用されている圧力計は、大気圧から10^-9Torrまでの範囲の圧力を表示することができます。
また、ある種のプロセスでは、試料への化学的影響を防ぐために低圧を維持することが重要であることも注目に値する。例えば、真空炉内の炭素雰囲気の場合、試料への顕著な化学的影響を避けるために、圧力を1～2mm以下に保つ必要がある。炭素の蒸気や粒子から試料を保護するために、一端が閉じた耐火性の磁器管が炉の冷却部から吊り下げられるのが一般的です。この管は、試料を通過する還元ガスの慣例を減少させ、全体的な還元作用を減少させるのに役立ちます。
全体として、石英管が保持できる具体的な圧力は、その設計と品質に依存する。前述の文献では、石英管は高圧に耐えるように設計されており、LPCVD炉システムの使用圧力は45,000 psi (310 MPa)です。
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