石英管はかなりの圧力を保持することができる。
良好な表面品質を持つ溶融石英の設計引張強度は、4.8 x 10^7 Pa (7,000 psi)以上です。
つまり、石英管は4.8 x 10^7 Paまたは7,000 psiまでの圧力に、破損や故障することなく耐えることができます。
5つの重要な洞察
1.設計引張強さ
良好な表面品質を持つ溶融石英の設計引張強度は、4.8 x 10^7 Pa (7,000 psi)以上である。
2.LPCVD炉システム
前述のLPCVD炉システムにおいて、使用圧力は45,000psi（310MPa）と規定されている。
これは、このシステムで使用されている石英管が、45,000 psiまでの圧力に問題なく対応できるように設計されていることを示している。
3.真空チャンバー圧力
前述の蒸着システムの真空チャンバーは、短時間で最低圧力に到達する能力を持っている。
真空チャンバー内の圧力は、サンプルの被覆プロセスや蒸着された薄膜の品質において重要な役割を果たします。
チャンバー内の圧力を正確にモニターするために、信頼性が高く正確な圧力計が使用されます。
前述の蒸着システムで使用されている圧力計は、大気圧から10^-9Torrまでの範囲の圧力を表示することができます。
4.低圧力の重要性
特定のプロセスでは、試料への化学的影響を防ぐために低圧を維持することが重要であることも注目に値する。
例えば、真空炉内の炭素雰囲気の場合、試料への顕著な化学的影響を避けるために、圧力を1～2mm以下に保つ必要がある。
炭素の蒸気や粒子から試料を保護するために、一端が閉じた耐火性の磁器管が炉の冷却部から吊り下げられるのが一般的です。
この管は、試料を通過する還元ガスの慣例を減少させ、全体的な還元作用を減少させるのに役立ちます。
5.比圧力容量
全体として、石英管が保持できる比圧力は、その設計と品質に依存する。
前述の文献では、石英管は高圧に耐えるように設計されており、LPCVD炉システムの使用圧力は45,000psi（310MPa）である。
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