薄膜金属蒸着は、光学的、電気的、または腐食特性などの特性を変更するために、基板上に金属の薄い層を適用することを含む。このプロセスは、半導体製造、光学、バイオセンサーなど、様々な産業において極めて重要である。蒸着はいくつかの技術によって実現できる:
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蒸着:この方法では、金属を蒸気になるまで加熱し、基板上に凝縮させる。融点の低い材料の蒸着に適しており、光学コーティングやマイクロエレクトロニクスの製造によく用いられる。
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スパッタリング:このプロセスでは、目的の金属でできたターゲットに高エネルギー粒子(通常はイオン)を照射し、ターゲットから原子を放出させて基板上に堆積させる。スパッタリングは膜の密着性と均一性を高め、ミラーや半導体デバイスの製造によく用いられる。
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化学気相成長法(CVD):CVDは、気体化合物を反応させて基板上に固体膜を堆積させる。プロセスを制御することで、正確な膜厚と組成の膜を作ることができ、エレクトロニクスやナノテクノロジーにおける高度な用途に理想的である。
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電気めっき:最も古い薄膜形成法のひとつ。溶解した金属イオンを含む溶液に基板を浸し、電流を流して基板上にイオンを析出させる。電気めっきは、さまざまな物体の装飾や保護コーティングに広く使われている。
これらの方法にはそれぞれ利点があり、金属の種類、希望する膜厚、最終製品に要求される特性など、用途の具体的な要件に基づいて選択される。薄膜蒸着は、現代の製造業において多用途かつ不可欠なプロセスであり、強化された、あるいは新しい特性を持つ材料の創出を可能にします。
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