技術チーム · Kintek Solution

スパッタリングシステムを使用したアルミニウム（Al）成膜のキャリアガスとして一般的に使用されるガスは、アルゴン（Ar）ガスです。アルゴンガスは一般的にスパッタリングチャンバー内のスパッタリングガスとして使用され、アルミニウムなどのターゲット材料にプラズマを発生させ、材料原子を真空中に放出させます。その後、アルミニウム・ターゲットの原子が基板上に蒸着され、アルミニウムの薄膜が形成される。キャリアガスとしては、不活性でターゲット材料と化学反応しないアルゴンガスが好ましい。さらに、アルゴンの原子量はアルミニウムの原子量に近いため、スパッタリングプロセス中の運動量移動を効率的に行うことができます。

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