管状炉では通常、ムライトや再結晶アルミナ (RCA)のようなセラミック材料、石英ガラス、またはステンレス鋼やインコネルのような金属から作られた作業管が使用されます。材料の選択は、最高使用温度や試料材料との不要な反応を避けるために必要な耐薬品性など、用途の具体的な要件によって決まります。
セラミック材料:
- ムライトと再結晶アルミナ(RCA): これらの材料は、高い耐熱性と化学的安定性から選ばれます。アルミナとシリカの結晶性化合物であるムライトは、熱衝撃や高温に対する耐性を必要とする用途に特に有用です。一方、RCAはさらに高い耐熱性を持ち、より厳しい環境で使用されることが多い。
石英ガラス:2.石英管:
石英は、1200℃までの温度に適した費用対効果の高い選択肢である。その透明性は、プロセスの視覚的モニタリングに有益である。しかし、石英管は他の材料ほど多くの熱-冷却サイクルに耐えられず、頻繁な温度変化を伴う用途では寿命が制限される可能性がある。金属:3.
ステンレス鋼とインコネル:
これらの金属は、その強度と高温での酸化や腐食に対する耐性のために選択されます。ステンレス鋼は中程度の温度耐性が要求される用途で一般的に使用され、ニッケルクロム合金のインコネルは高温と腐食環境に対する優れた耐性により、より過酷な条件で使用されます。
管状炉の作業管材質の選択は、炉の性能と加工材料の品質に直接影響するため非常に重要です。例えば、超伝導体であるイットリウムバリウム銅酸化物(YBa2Cu3O7)のような材料を合成する場合、管材の選択はプロセスに関わる高温と反応性ガスに適合していなければなりません。同様に、半導体製造や真空ろう付けでは、チューブ材料は特定の温度範囲に耐え、プロセス材料との化学的相互作用に耐える必要がある。