技術チーム · Kintek Solution

スパッタコーターは、主にスパッタ蒸着と呼ばれるプロセスを通じて、様々な基板上に薄く機能的なコーティングを施すものである。この技術は、ソーラーパネル、マイクロエレクトロニクス、航空宇宙、自動車を含む多くの産業で不可欠な、均一で耐久性があり、一貫性のあるコーティングを作成する能力で評価されています。

詳しい説明

1. スパッタコーティングのプロセス

2. スパッタコーティングは、プラズマを形成するスパッタリングカソードの帯電から始まる。このプラズマにより、ターゲット表面から材料が放出される。カソードに接着またはクランプされたターゲット材料は、磁石の使用により均一な侵食を受ける。その後、ターゲット材料は運動量移動プロセスを通じて基板に向けられ、基板に衝突して原子レベルで強固な結合を形成する。この統合により、材料は単なる表面コーティングではなく、基材の永久的な一部となる。スパッタコーティングの用途

   • スパッタコーティングは、様々な産業で幅広く利用されている：
   • ソーラーパネル 太陽電池：効率と耐久性の向上
   • マイクロエレクトロニクス 様々な材料の薄膜形成
   • 航空宇宙 重要部品の保護や機能性コーティングに。
   • 自動車 自動車部品の性能と美観を向上させる。

3. コンピューターのハードディスク データ保存能力を高めるための初期の重要な用途。

   • スパッタリング技術の種類
   • スパッタコーティングには、以下のようないくつかの技術が開発されている：マグネトロンスパッタリング：
   • 磁場を利用してプラズマ密度と成膜速度を高める。3極スパッタリング：

4. より制御されたイオンボンバードメントのために3つの電極を使用する。RFスパッタリング：

5. 高周波を利用してプラズマを発生させるもので、非導電性材料に適している。特殊な装置と冷却：

6. スパッタコーティング装置は高エネルギーを必要とし、かなりの熱を発生する。コーティング中およびコーティング後の装置を安全な温度範囲に維持するためにチラーが使用されます。

カーボンスパッターコーティング