スパッターコーターは、基板上に非常に薄く機能的なコーティングを施すために使用される特殊なツールである。
走査型電子顕微鏡（SEM）では、分析用サンプルの前処理にスパッタコーティングが欠かせない。
このプロセスでは、金や白金などの金属の薄層を試料に蒸着します。
スパッタコーティングは、導電性の向上、帯電効果の低減、電子ビームに対する構造的保護に役立ちます。
スパッタコーティングの5つの主な利点
1.導電性の向上
スパッタコーティングは試料の導電性を向上させます。
これは、SEM分析中の帯電を防ぐために非常に重要です。
2.帯電の低減
導電層を形成することで、帯電のリスクを最小限に抑えます。
これにより、より正確で信頼性の高いSEMイメージングが可能になります。
3.二次電子放出の向上
コーティングにより、二次電子の放出が向上します。
これにより、SEMの画質と解像度が向上します。
4.均一で耐久性のあるコーティング
このプロセスでは、金属プラズマを発生させ、試料上に均一に堆積させます。
その結果、均一で耐久性のあるコーティングが実現します。
5.多様な用途
スパッタコーティングは、ソーラーパネル、建築用ガラス、マイクロエレクトロニクス、航空宇宙、フラットパネルディスプレイ、自動車など、さまざまな産業で使用されています。
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