スパッタコーターの機能は、基板上に非常に薄く機能的なコーティングを施すことです。走査型電子顕微鏡(SEM)の場合、スパッタコーティングは、金や白金などの金属の薄層をサンプルに蒸着することによって、分析用のサンプルを準備するために使用されます。このプロセスは、導電性の向上、帯電効果の低減、電子ビームに対する構造的保護に役立つ。
スパッタコーティングでは、金属プラズマを発生させ、制御された方法で試料に蒸着させます。カソードに接着またはクランプされたターゲット材料が帯電してプラズマを形成し、材料がターゲット表面から放出される。磁石は、材料の安定した均一な浸食を確実にするために使用される。高エネルギーのターゲット材料は基材に衝突し、原子レベルで非常に強い結合を形成する。これは、コーティングされた材料が単なる表面コーティングではなく、基材の永久的な一部となることを意味する。
スパッタコーティングの利点には、導電性の向上、帯電効果の低減、二次電子放出の強化などがある。プロセス中に生成される安定したプラズマは、より均一な成膜を保証し、一貫した耐久性のあるコーティングをもたらします。スパッタコーティングは、ソーラーパネル、建築用ガラス、マイクロエレクトロニクス、航空宇宙、フラットパネルディスプレイ、自動車産業など、さまざまな用途で一般的に使用されている。
全体的に、スパッタコーターの機能は、走査型電子顕微鏡で観察する試料を代表する導電性薄膜を提供することである。この薄膜は帯電を抑制し、熱によるダメージを軽減し、二次電子放出を促進します。
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