技術チーム · Kintek Solution

電子ビーム蒸発法では、電子ビームを用いて真空中で試料を加熱・蒸発させます。

4つの主要ステップ

1.電子ビームの発生と制御

電子ビームはフィラメントから発生する。

電子ビームは、高電圧の電場を通して高い運動エネルギー（最大10kV）まで加速される。

電場と磁場は、ビームをソース材料に正確に導くために使用される。

ソース材料は通常、るつぼに入れられたペレットまたはブロックの形をしている。

2.エネルギー移動と気化

電子ビームがソース材料に当たると、その運動エネルギーが熱に変換される。

これにより材料の温度が上昇する。

材料が加熱されると、表面原子はバルク材料との結合力に打ち勝つのに十分なエネルギーを得る。

これにより、表面原子は蒸気として表面から放出される。3.蒸発と蒸着気化した原子や分子は、熱エネルギー（1eV未満）で真空チャンバー内を移動する。他の粒子に邪魔されることなく、300mmから1mの作業距離に配置された基板上に「一直線に」蒸着することができる。