PVD(Physical Vapor Deposition:物理的気相成長)は、真空環境で行われるコーティングプロセスであり、その美観と性能の利点で知られています。PVDコーティングの主な方法には、陰極アーク蒸発、マグネトロンスパッタ、電子ビーム蒸発、イオンビームスパッタ、レーザーアブレーション、熱蒸発、イオンプレーティングなどがあります。
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陰極アーク蒸発法:この方法では、固体コーティング材料に高出力の電気アークを通過させて蒸発させる。このプロセスにより、コーティング材料はほぼ完全にイオン化します。真空チャンバー内で金属イオンは反応性ガスと相互作用し、部品に衝突して薄い皮膜として付着します。
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マグネトロンスパッタ:この方法では、磁場を用いてターゲット表面付近に電子をトラップし、ターゲット原子のイオン化確率を高める。イオン化した原子は基板に向かって加速され、薄膜を成膜する。
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電子ビーム蒸着:この技術では、電子ビームを使用してターゲット材料を蒸発点まで加熱する。蒸発した材料は基板上で凝縮し、薄膜を形成する。
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イオンビームスパッタ:この方法では、イオンビームを使ってターゲットから材料をスパッタリングし、基板上に堆積させる。このプロセスは、高度に制御され、高純度の材料を成膜できることで知られている。
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レーザーアブレーション:この方法では、高出力レーザーパルスを使用してターゲットから材料を蒸発させ、基板上に堆積させる。この技術は、複雑な材料や化合物の蒸着に特に有効です。
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熱蒸着:薄膜蒸着の一種で、塗布する材料を加熱して蒸気にし、基板上で凝縮させてコーティングを形成する。加熱には、ホットフィラメント、電気抵抗、電子ビーム、レーザービーム、電気アークなど、さまざまな方法がある。
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イオンプレーティング:プラズマを利用して皮膜を形成する方法。このプロセスでは、活性ガスによる金属の析出と基材へのプラズマ砲撃を組み合わせることで、緻密で硬い皮膜を形成する。
これらの方法にはそれぞれ利点があり、材料特性、コーティングの厚さ、基材の種類など、コーティングに求められる具体的な要件に基づいて選択されます。
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