スパッタリングターゲットは、スパッタ蒸着プロセスにおいて不可欠なコンポーネントである。薄膜作成のための材料源となる。
知っておくべきスパッタリングターゲットの4つの主要タイプ
金属スパッタリングターゲット
金属スパッタリングターゲットは、純粋な金属元素から作られています。金属の純度が重要な用途によく使用される。これには、半導体やコンピュータチップの製造が含まれます。金属ターゲットは、目的の薄膜特性に適したあらゆる元素の金属を使用することができます。
合金スパッタリングターゲット
合金スパッタリングターゲットは、金属の混合物から作られる。薄膜に特定の特性を持たせるために合金が選択される。これらの特性には、硬度の向上、導電性の改善、耐食性の強化などが含まれる。合金の組成は、用途の特定の要件を満たすように調整することができる。
セラミックスパッタリングターゲット
セラミックスパッタリングターゲットは、非金属化合物から作られる。これらの化合物は通常、酸化物または窒化物である。セラミックターゲットは、高い硬度と耐摩耗性を持つ薄膜を作成するために使用されます。そのため、工具や切削器具への応用に適している。セラミック材料は、熱的および電気的絶縁性を提供することが多い。
スパッタリングターゲットの特殊形状
スパッタリングターゲットの形状は、伝統的なものからより特殊なものへと進化してきた。例えば、回転ターゲットは円筒形で、より精密な薄膜成膜ができるように設計されている。これらのターゲットは表面積が大きく、成膜速度が速い。スパッタリングターゲットの形状をカスタマイズできることで、特定の成膜システムや要件によりよく適応できるようになります。
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