化学気相成長（CVD）リアクターは、基板上に薄膜を蒸着するために設計された複雑なシステムです。
8つの重要部品について説明する。
1.ガス供給システム
リアクターチャンバーに前駆体を供給するシステム。
2.リアクター・チャンバー
ここで薄膜蒸着が行われる。
3.基板ローディング機構
リアクターチャンバーへの基板の出し入れを行います。
4.エネルギー源
化学反応に必要な熱やエネルギーを供給する。
5.真空システム
不要なガスを除去し、制御された環境を維持する。
6.排気システム
揮発性の副産物や余分なガスを除去します。
7.排気処理システム
排気ガス中の有害・有毒成分を処理する。
8.プロセス制御装置
圧力、温度、時間などのパラメーターのゲージ、制御装置、監視システムなど。
各コンポーネントは、CVDリアクターの効率的かつ効果的な運転に不可欠です。
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