真空ゲージの校正は可能です。真空計の動作原理上、校正作業は非常に重要で、乾燥空気または窒素を使用して校正するように設計されています。その他の雰囲気では、測定データの表示に誤差が生じることがあります。
校正プロセス
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校正雰囲気の選択： 真空計は、乾燥空気または窒素を使って校正する必要があります。これらのガスは、ゲージの読み取り精度に影響を与える不純物やばらつきがないため選択されています。他のガスや雰囲気を使用すると、異なる大気組成に対するゲージの応答が逸脱するため、測定値が不正確になる可能性があります。
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校正の頻度： 真空計と抵抗計は、初回または一定期間使用後に校正する必要があります。この定期的な校正により、環境要因や通常の消耗により発生する可能性のあるドリフトや性能の劣化を補正し、ゲージが長期間にわたって正確で信頼できる状態を保つことができます。
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安全性とメンテナンス： 校正プロセスでは、特に抵抗ゲージのような電気機器を扱う場合、安全規則に従うことが重要です。さらに、真空グリースを塗布して再び取り付ける前に、シールリングと対応する接触部分をアセトンまたはアルコールで洗浄するなど、適切なメンテナンス手順を遵守する必要があります。
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操作上の注意： 大気圧下でイオン化ゲージを無理に開けないことが重要です。また、電源を切らずに正圧（0.05Pa以上）で使用したり、腐食性雰囲気で使用したりしないでください。
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モニタリングと調整： 校正中は、プリセット真空値や実真空値などのパラメーターを注意深くモニターし、精度を確保するために調整する必要があります。これには、事前設定値と実際の読み取り値を比較するために、視覚的な表示をチェックし、データを記録することが含まれます。
これらの詳細な手順と注意事項に従うことで、真空計の校正を効果的に行うことができ、正確な真空制御を必要とする様々な用途において、正確で信頼性の高い測定が保証されます。
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