真空圧は、低真空から超高真空まで、さまざまな真空範囲で作動するように設計された専用のゲージを使用して測定されます。真空圧力の測定は、真空システムの適切な機能を保証し、真空チャンバー内の所望の条件を維持するために非常に重要です。
測定技術
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圧力計 測定する真空の範囲によって、さまざまなタイプの圧力計が使用されます。例えば、粗真空/低真空範囲（1000～1mbar）では、ブルドン管やダイアフラムゲージのような機械式ゲージが使用されます。これらのゲージは、圧力変化に応じて機械的に変形するという原理で動作します。
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熱伝導率ゲージ： 微/中真空範囲（1～10^-3mbar）に適しており、圧力変化による気体の熱伝導率の変化を測定します。ピラニゲージは一般的なタイプで、ガス圧力の変化に応じて加熱したワイヤーの抵抗値が変化し、ワイヤーの熱損失に影響を与えます。
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イオン化ゲージ： 高真空および超高真空領域（10^-3～10^-11mbar）で使用されます。ガス分子をイオン化し、発生する電流を測定します。この電流はガス密度に比例するため、圧力に比例します。ベイヤードアルパートゲージやホットカソードイオン化ゲージがその一例です。
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磁気サスペンションゲージ： 極端な高真空（10^-11mbar未満）の場合、磁気サスペンション・ゲージは、周囲のガス圧に影響される磁場中で小さな球体を吊り下げるのに必要な力を測定します。
精度と信頼性：
ゲージの選択は、必要とされる真空レベルと特定のアプリケーションに依存します。例えば、参考文献にあるような真空蒸着システムでは、大気圧レベルから10^-9Torrまでの圧力を表示できるフルレンジ圧力計が使用されます。これにより、成膜環境の正確なモニタリングが保証され、薄膜成膜の品質にとって非常に重要です。
真空システムとの統合：
真空計は通常、バルブや他のコンポーネントとともに真空システムに統合されます。真空計はチャンバー内の圧力をリアルタイムでフィードバックするため、オペレーターは必要に応じて真空ポンプの設定やその他のパラメーターを調整し、希望の真空レベルを達成・維持することができます。
結論
真空圧測定は、さまざまな産業や研究用途の真空システムを管理する上で重要な側面です。適切なゲージを選択することで、真空レベルが正確に維持され、真空炉、粒子加速器、薄膜蒸着システムなどのプロセスの成功に不可欠です。
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